Изложены основные представления о физических процессах формирования видеосигнала в сканирующем электронном микроскопе. Построен новый библиотечный алгоритм моделирования видеосигнала. Опробование алгоритма показало его приемлемую точность, детальное соответствие модельных видеосигналов их экспериментальным аналогам. Расчет модельного видеосигнала в 500 точках занимает не более 1 с, что во много тысяч раз быстрее, чем по методу Монте-Карло.
The main ideas about physical processes of video signal formation in scanning microscope SEM are shortly described. On these ideas and corresponding quantitative expressions (the analytical model) is built a new “library” algorithm of video signal modeling in SEM. The testing of given algorithm shows its acceptable accuracy, the detailed conformity of model video signals to their experimental analogues. The unsurpassed high productivity is achieved: less than one second is spent on calculation of model video signal consisting of 2.5 thousand points using the ordinary PC! It is many thousands times faster than the modelling by using the widely spread Monte Carlo method.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.