Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Исследование свойств высокочувствительных термостабильных тонкоплёночных тензорезисторов для интегральных датчиков давления
Abstract
This principle of operation and major causes of instability of tensometric thin-film strain gauge pressure sensors, operating hard service conditions, have been considered. The new design solutions of high sensitivity thermostable strain gauges with application of new materials are suggested. The new technology methods for increase of thin-film strain gauge pressure sensors parameters are presented.
About the Authors
И. Волохов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
С. Гурин
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
И. Вергазов
Научно-исследовательский институт физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Волохов И. В. Технологические методы повышения надежности тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления // Сборник докладов науч.-техн. конф. «Актуальные проблемы ракетно-космического приборостроения и информационных технологий». М.: Российский научно-исследовательский институт космического приборостроения, 2007 г.
2. Аверин И. А., Волохов И. В., Мокров Е. А., Печерская Р. М. Влияние переходных процессов в тонкоплёночной гетерогенной структуре на надежность чувствительных элементов тензорезисторных датчиков давления // Известия вузов. Поволжский регион. Технические науки. 2008. № 2. С. 123-127.
3. Лугин А. Н. Влияние термомеханических воздействий на температурную и временную стабильность сопротивления прецизионных тонкоплёночных резисторов // Электронная промышленность. 1995. № 1. С. 57-60.
4. Розенблат М. А. Микротроника - новое направление развития датчиков и исполнительных устройств // Приборы и системы управления. 1996. № 12. С. 49-57.
5. Тихоненков В. А., Мишин В. А., Тихонов А. И. Технология производства металлоплёночных датчиков механических величин. Учебное пособие для вузов / Ульяновск, Ульяновский гос. тех. ун-т, 2003.
6. Корляков А. В. Ростовые фазовые политипные превращения при эпитаксии карбида кремния и нитрида алюминия: Автореф. дисс. на соиск. уч. степ. канд. физ.-мат. наук. Л.: ЛЭТИ, 1989.
7. Гурин С. А., Печерская Р. М. Особенности технологии получения структуры «нитрид алюминия на карбиде кремния» для чувствительного элемента // Известия вузов. Поволжский регион. Технические науки. 2014. № 1. С. 46-53.
8. Мокров Е. А., Белозубов Е. М., Тихомиров Д. В. Минимизация погрешности тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарной температуры // Датчики и системы. № 1. 2004. С. 26-29.
9. Пат. № 1615578 РФ. Датчик давления / Е.М. Белозубов // Изобретения. 1994. Бюл. №17.
10. Мокров Е. А., Волохов И. В., Герасимов О. Н., Крысин Ю. М. Проектирование датчиков на основе тонкоплёночных технологий. Учебное пособие // Пенза : Информ.-изд. центр Пензенского гос. ун-та. 2007. С. 79.
11. Волохов И. В. Технологические методики повышения стабильности параметров тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления: Автореф. дисс. на соиск. уч. степ. канд. тех. наук. П.: Информ.-изд. центр Пензенского гос. ун-та. 2008. П. 2008.
Review
For citations:
, , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2016;(1):55-60. (In Russ.)
Views:
107
Email this article 