Для цитирования:

Волохов И.В., Гурин С.А., Вергазов И.Р. Исследование свойств высокочувствительных термостабильных тонкоплёночных тензорезисторов для интегральных датчиков давления. Измерительная техника. 2016;(1):55-60.