Лазерный интерференционный масляный манометр Государственного первичного эталона единицы давления ГЭТ 101-2011

Описаны конструкция, принцип действия и бюджет погрешностей лазерного интерференционного масляного манометра, разработанного во ВНИИМ им. Д. И. Менделеева и вошедшего в состав Государственного первичного эталона единицы давления ГЭТ 101-2011. Представлены результаты проведённых с применением лазерного интерференционного масляного манометра исследований высокоточных средств измерений давления. Приведены итоги ключевых сличений и международного сотрудничества в области жидкостной манометрии.

эталон, лазерный интерференционный масляный манометр, поплавковое демпфирующее устройство, компрессионный манометр, капиллярные явления, эффект термической транспирации, ключевые сличения, standard, laser interferometric oil manometer, float damping device, compression manometer, capillary effect, thermal transpiration effect, key comparison

1. Садковская И. В., Цвелик В. А., Ковальков В. П., Эйхвальд А. И. Новый Государственный первичный эталон единицы давления // Мир измерений. 2012. Т. 2 (132). C. 19-25.

2. Пат. РФ 2 262 677 С1. Лазерный интерференционный масляный манометр / Садковская И. В., Эйхвальд А. И. // Изобретения. Полезные модели. 2005. № 29.

3. ГОСТ 8.107-81. ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1×10-8 - 1×103 Па.

4. Thomas A. M., Johnson D. P., Little J. W. Design of an Interferometric Oil Manometer for Vacuum Measurement // The 9th National Vacuum Symposium American Vacuum Society. 1962.

5. Aubry B., Delbart R. Manometre differential interferometrique systeme Peube // Le Vide. 1965. V. 20. № 117. P. 194-199.

6. Poulter K. F., Nash P. J. An interferometric oil micromanometer // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1979. V.12. P. 931-936.

7. Heydemann P.L.M., Tilford C.R., Hyland R.W. Ultrasonic manometers for low and medium vacuum under development at the National Bureau of Standards // J. Vac. Sci. Technol. 1977. V. 14(1). P. 597-605.

8. Yanhua Li, etc. A new primary standard oil manometer for absolute pressure up to 10 kPa // Metrologia. 2015. V. 52. P. 111-120.

9. Poulter K. F. The calibration of vacuum gauges // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1977. V. 10. P. 112-123.

10. Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Влияние капиллярных эффектов на точность измерения давления жидкостными манометрами // Измерительная техника. 2005. № 3. C. 24-26.

11. РМГ 91-2009. ГСИ. Совместное использование понятий «погрешность измерения» и «неопределенность измерения». Общие принципы.

12. ГОСТ Р 54500.3-2011/Руководство ИСО/МЭК 98-3:2008. Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения.

13. ГОСТ 8.381-80. ГСИ. Эталоны. Способы выражения погрешностей.

14. ГОСТ Р 8.840-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-1∙106 Па.

15. Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Особенности применения мембранно-емкостных вакуумметров Баратрон при измерении низкого абсолютного давления // Вакуумная техника и технология. 2013. Т. 23 №1. C. 45-46.

16. Poulter K. F., etc. Thermal transpiration correction in capacitance manometers // Vacuum. 1983. 33 (6). P. 311-316.

17. Miiller A. P. Measurement performance of high-accuracy low -pressure transducers // Metrologia. 1999. 36. P. 617-621.

18. J. Ricker, etc. Final report on the key comparison CCM.P-K4.2012 in absolute pressure from 1 Pa to 10 kPa // Metrologia. 2017. V. 54. Tech. Suppl. 07002.

19. Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Измерение сжимаемости рабочей жидкости лазерного интерференционного масляного манометра с помощью интерференционного пьезометра низкого давления // Измерительная техника. 2018. № 5. C. 47-49.