izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"10.32446/0368-1025it.2019-3-3-7izmertech-942Research ArticleГОСУДАРСТВЕННЫЕ ЭТАЛОНЫSTATE STANDARDSЛазерный интерференционный масляный манометр Государственного первичного эталона единицы давления ГЭТ 101-2011Laser interferometric oil manometer of State primary pressure standard GET 101-2011СадковскаяИ. В.SadkovskayaI. .siv@vniim.ruЭйхвальдА. И.EikhvaldA. .eich47@mail.ruЭйхвальдТ. А.EikhvaldT. .noemail@neicon.ruВсероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. МенделееваРоссияD. I. Mendeleyev Institute for Metrology (VNIIM)Russian FederationСанкт-Петербургский государственный университетРоссияSaint-Petersburg State UniversityRussian Federation2019070220230337Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/942

Описаны конструкция, принцип действия и бюджет погрешностей лазерного интерференционного масляного манометра, разработанного во ВНИИМ им. Д. И. Менделеева и вошедшего в состав Государственного первичного эталона единицы давления ГЭТ 101-2011. Представлены результаты проведённых с применением лазерного интерференционного масляного манометра исследований высокоточных средств измерений давления. Приведены итоги ключевых сличений и международного сотрудничества в области жидкостной манометрии.

The design, the principle of operation and the uncertainties of a laser interference oil manometer, which is part of the primary pressure standard GET 101-2011 developed in VNIIM, are described. The results of studies of high-precision pressure gauges with the use of the manometer are presented. The results of key comparison and international cooperation in the field of liquid manometry are described.

эталонлазерный интерференционный масляный манометрпоплавковое демпфирующее устройствокомпрессионный манометркапиллярные явленияэффект термической транспирацииключевые сличенияstandardlaser interferometric oil manometerfloat damping devicecompression manometercapillary effectthermal transpiration effectkey comparisonReferencesСадковская И. В., Цвелик В. А., Ковальков В. П., Эйхвальд А. И. Новый Государственный первичный эталон единицы давления // Мир измерений. 2012. Т. 2 (132). C. 19-25.Садковская И. В., Цвелик В. А., Ковальков В. П., Эйхвальд А. И. Новый Государственный первичный эталон единицы давления // Мир измерений. 2012. Т. 2 (132). C. 19-25.Пат. РФ 2 262 677 С1. Лазерный интерференционный масляный манометр / Садковская И. В., Эйхвальд А. И. // Изобретения. Полезные модели. 2005. № 29.Пат. РФ 2 262 677 С1. Лазерный интерференционный масляный манометр / Садковская И. В., Эйхвальд А. И. // Изобретения. Полезные модели. 2005. № 29.ГОСТ 8.107-81. ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1×10-8 - 1×103 Па.ГОСТ 8.107-81. ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1×10-8 - 1×103 Па.Thomas A. M., Johnson D. P., Little J. W. Design of an Interferometric Oil Manometer for Vacuum Measurement // The 9th National Vacuum Symposium American Vacuum Society. 1962.Thomas A. M., Johnson D. P., Little J. W. Design of an Interferometric Oil Manometer for Vacuum Measurement // The 9th National Vacuum Symposium American Vacuum Society. 1962.Aubry B., Delbart R. Manometre differential interferometrique systeme Peube // Le Vide. 1965. V. 20. № 117. P. 194-199.Aubry B., Delbart R. Manometre differential interferometrique systeme Peube // Le Vide. 1965. V. 20. № 117. P. 194-199.Poulter K. F., Nash P. J. An interferometric oil micromanometer // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1979. V.12. P. 931-936.Poulter K. F., Nash P. J. An interferometric oil micromanometer // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1979. V.12. P. 931-936.Heydemann P.L.M., Tilford C.R., Hyland R.W. Ultrasonic manometers for low and medium vacuum under development at the National Bureau of Standards // J. Vac. Sci. Technol. 1977. V. 14(1). P. 597-605.Heydemann P.L.M., Tilford C.R., Hyland R.W. Ultrasonic manometers for low and medium vacuum under development at the National Bureau of Standards // J. Vac. Sci. Technol. 1977. V. 14(1). P. 597-605.Yanhua Li, etc. A new primary standard oil manometer for absolute pressure up to 10 kPa // Metrologia. 2015. V. 52. P. 111-120.Yanhua Li, etc. A new primary standard oil manometer for absolute pressure up to 10 kPa // Metrologia. 2015. V. 52. P. 111-120.Poulter K. F. The calibration of vacuum gauges // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1977. V. 10. P. 112-123.Poulter K. F. The calibration of vacuum gauges // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1977. V. 10. P. 112-123.Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Влияние капиллярных эффектов на точность измерения давления жидкостными манометрами // Измерительная техника. 2005. № 3. C. 24-26.Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Влияние капиллярных эффектов на точность измерения давления жидкостными манометрами // Измерительная техника. 2005. № 3. C. 24-26.РМГ 91-2009. ГСИ. Совместное использование понятий «погрешность измерения» и «неопределенность измерения». Общие принципы.РМГ 91-2009. ГСИ. Совместное использование понятий «погрешность измерения» и «неопределенность измерения». Общие принципы.ГОСТ Р 54500.3-2011/Руководство ИСО/МЭК 98-3:2008. Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения.ГОСТ Р 54500.3-2011/Руководство ИСО/МЭК 98-3:2008. Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения.ГОСТ 8.381-80. ГСИ. Эталоны. Способы выражения погрешностей.ГОСТ 8.381-80. ГСИ. Эталоны. Способы выражения погрешностей.ГОСТ Р 8.840-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-1∙106 Па.ГОСТ Р 8.840-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-1∙106 Па.Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Особенности применения мембранно-емкостных вакуумметров Баратрон при измерении низкого абсолютного давления // Вакуумная техника и технология. 2013. Т. 23 №1. C. 45-46.Садковская И. В., Эйхвальд А. И. Особенности применения мембранно-емкостных вакуумметров Баратрон при измерении низкого абсолютного давления // Вакуумная техника и технология. 2013. Т. 23 №1. C. 45-46.Poulter K. F., etc. Thermal transpiration correction in capacitance manometers // Vacuum. 1983. 33 (6). P. 311-316.Poulter K. F., etc. Thermal transpiration correction in capacitance manometers // Vacuum. 1983. 33 (6). P. 311-316.Miiller A. P. Measurement performance of high-accuracy low -pressure transducers // Metrologia. 1999. 36. P. 617-621.Miiller A. P. Measurement performance of high-accuracy low -pressure transducers // Metrologia. 1999. 36. P. 617-621.J. Ricker, etc. Final report on the key comparison CCM.P-K4.2012 in absolute pressure from 1 Pa to 10 kPa // Metrologia. 2017. V. 54. Tech. Suppl. 07002.J. Ricker, etc. Final report on the key comparison CCM.P-K4.2012 in absolute pressure from 1 Pa to 10 kPa // Metrologia. 2017. V. 54. Tech. Suppl. 07002.Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Измерение сжимаемости рабочей жидкости лазерного интерференционного масляного манометра с помощью интерференционного пьезометра низкого давления // Измерительная техника. 2018. № 5. C. 47-49.Садковская И. В., Эйхвальд А. И., Эйхвальд Т. А. Измерение сжимаемости рабочей жидкости лазерного интерференционного масляного манометра с помощью интерференционного пьезометра низкого давления // Измерительная техника. 2018. № 5. C. 47-49.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.