|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Измерение профиля поверхности моноатомной многослойной наноструктуры кремния интерференционным методом
Abstract
The problem of measuring the surface profile of silicon nanostructures consisting of monoatomic layers using an interference method is considered. The Zygo New View 6200 scanning light interference microscope from the Center for the collective use of high-precision measurement technologies in the field of photonics VNIIOFI, was used for the measurements.
About the Authors
В. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
А. Латышев
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Russian Federation
Russian Federation
Д. Щеглов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Вишняков Г. Н., Цельмина И. Ю. Качество оптической поверхности, обработанной с применением полиуретана // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 68-71.
2. Барышева М. М., Вайнер Ю. А. Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. № 1. С. 71-76.
3. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19-24.
4. Сысоев Е. В., Выхристюк И. А., Куликов Р. В., Поташников А. К., Разум В. А., Степнов Л. М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. С. 119-128.
5. Пат. 2371674 РФ. Способ изготовления ступенчатого высотного калибровочного стандарта для профилометрии и сканирующей зондовой микроскопии / Щеглов Д. В., Косолобов С. С., Родякина Е. Е, Латышев А. В. // Изобретения. Полезные модели. 2009. № 10.
6. ISO 16610-21:2011. Геометрические характеристики изделий (GPS). Фильтрация. Ч. 21. Линейные профильные фильтры: Фильтры Гаусса.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(11):12-14. (In Russ.)
Views:
83
Email this article 