|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерение профиля поверхности моноатомной многослойной наноструктуры кремния интерференционным методом
Аннотация
Рассмотрена задача измерения профиля моноатомной многослойной поверхности наноструктур кремния с помощью интерференционного метода. Измерения проведены сканирующим интерференционным микроскопом белого света Zygo New View 6200 из состава Центра коллективного пользования высокоточных измерительных технологий в области фотоники ВНИИОФИ.
Об авторах
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
А. В. Латышев
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Россия
Россия
Д. В. Щеглов
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Вишняков Г. Н., Цельмина И. Ю. Качество оптической поверхности, обработанной с применением полиуретана // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. С. 68-71.
2. Барышева М. М., Вайнер Ю. А. Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. № 1. С. 71-76.
3. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. С. 19-24.
4. Сысоев Е. В., Выхристюк И. А., Куликов Р. В., Поташников А. К., Разум В. А., Степнов Л. М. Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия. 2010. Т. 46. № 2. С. 119-128.
5. Пат. 2371674 РФ. Способ изготовления ступенчатого высотного калибровочного стандарта для профилометрии и сканирующей зондовой микроскопии / Щеглов Д. В., Косолобов С. С., Родякина Е. Е, Латышев А. В. // Изобретения. Полезные модели. 2009. № 10.
6. ISO 16610-21:2011. Геометрические характеристики изделий (GPS). Фильтрация. Ч. 21. Линейные профильные фильтры: Фильтры Гаусса.
Рецензия
Для цитирования:
Минаев В.Л., Левин Г.Г., Латышев А.В., Щеглов Д.В. Измерение профиля поверхности моноатомной многослойной наноструктуры кремния интерференционным методом. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2017;(11):12-14.
Просмотров:
76
Послать статью по эл. почте 