сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Устройство для механических испытаний элементов микро- и наносистем
https://doi.org/10.32446/0368-1025it-2018-8-43-46
Аннотация
Представлено устройство для механических испытаний элементов микро- и наносистем на основе электродинамического актюатора, контролируемым образом развивающего усилия от 10-3 до 1 Н. Минимально регистрируемое изменение геометрии образца под нагрузкой составляет 0,3 мкм. Актюатор можно применять для растяжения, изгиба, сжатия образцов и их испытаний на усталость. С помощью актюатора можно определять механические характеристики тонких плёнок, проволок и микробалок длиной от единиц микрометров до нескольких миллиметров. Доступность актюатора и его нулевая жёсткость упрощают процедуру измерений.
Список литературы
1. Tsuchiya T. Reliability of MEMS: Testing of Materials and Devices V6. N. Y.: Wiley, 2008.
2. Rigo S., Desmarres J. M., Masri T., Petit J. A. Measurement of the residual stresses of the handing structures used in MEMS // Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002 (France, 5-8 May 2002): Proc. SPIE. 2002. P. 704-713.
3. Weihs T. P., Hong S., Bravman J. C., Nix W. D., Mechanical deflection of cantilever microbeams: A new technique for testing the mechanical properties of thin films// J. Mater. Res. 1988. No. 3. P. 931-942.
4. Liu R., Wang H., L X.i, Ding G., Yang C. A micro-tensile method for measuring mechanical properties of MEMS materials // J. Micromech. Microeng. 2008. V. 18 (065002). DOI:10.1088/0960-1317/18/6/065002.
5. Richard S. G., Jon R. P., Prototype cantilevers for SI-traceable nanonewton force calibration// Meas. Sci. Technol. 2006. No.17. P. 2852-2860.
6. Уваpов И. В., Моpозов О. В., Козин И. А., Постников А. В., Амиpов И. И., Кальнов В. А. Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования // Нано и микросистемная техника. 2011. № 12. С. 38-40.
Рецензия
Для цитирования:
Постников А.В. Устройство для механических испытаний элементов микро- и наносистем. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2018;(8):43-46. https://doi.org/10.32446/0368-1025it-2018-8-43-46
Просмотров:
81
Послать статью по эл. почте 