Особенности проведения испытаний на герметичность миниатюрных газонаполненных разрядников в условиях нестабильной работы ионного источника масс-спектрометра

Представлены результаты по отработке методики контроля герметичности миниатюрных газонаполненных разрядников, что обусловлено проблемой, касающейся нестабильности в работе ионного источника масс-спектрометра из-за выработавшего свой ресурс катода. Рассмотрены теоретические и практические подходы, способствующие устранению данной проблемы. Предложены решения задач, в том числе методические, направленные на минимизацию потери полезной масс-спектрометрической информации в условиях временного понижения чувствительности газоанализатора. Показана необходимость принятия мер по предупреждению возникновения нехарактерных искажений регистрируемых масс-спектрограмм.

ионный источник, катод, деградационный отказ, математическое моделирование, способ накопления, газонаполненные приборы, вакуумная установка финишного контроля герметичности, квадрупольный масс-спектрометр, изотропность, трибологический фактор, ion source, cathode, degradation failure, mathematical modeling, method of accumulation, gas-filled devices, vacuum installation for the final leak test, quadrupole mass spectrometer, isotropy, tribological factor

1. Бушин С. А. Методика высокочувствительного контроля герметичности газонаполненных разрядников по истечению неона // Вакуумная техника и технология. 2012. Т. 22. № 2. С. 98-99.

2. ГОСТ 24054-80. Методы испытаний на герметичность. Общие требования. М.: «Издательство стандартов», 1987.

3. ОСТ 11 0808-96. Контроль неразрушающий. Методы течеискания.

4. Бушин C. А. Особенности методики контроля герметичности газонаполненных разрядников // Вакуумная техника и технологии - 2017: Труды 24-й Всерос. науч.-техн. конф. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2017.

5. Вентцель Е. С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1964.

6. Владимиров Г. Г. Физическая электроника. Ч. 1. Термоэлектронная эмиссия: Учебно-методическое пособие. Санкт-Петербург, 2007.