Экспериментальные исследования трёхмерной реконструкции рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе

Представлены результаты исследований трёхмерной реконструкции поверхности по стереоизображениям кремниевых структур с трапецеидальным профилем рельефных элементов. Стереоизображения получены с помощью растрового электронного микроскопа. Проведено сравнение результатов просвечивающей растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Установлено, что формирование на поверхности исследуемого объекта островковой плёнки золота со средним размером зёрен порядка 10 нм позволяет повысить достоверность результатов трёхмерной реконструкции. Погрешность реконструкции выступа высотой 597-600 нм составила менее 4 %.

трёхмерная реконструкция поверхности, стереоизображения, рельефные элементы, островковая плёнка золота, 3D surface reconstruction, SEM, stereo-pair images, relief elements, Au island film

1. Goldstein J., Newbury D., Joy D. Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis. N.-Y.: Kluwer Academic, Plenum Publishers, 2003.

2. Михуткин А. А., Васильев А. Л. Трёхмерная реконструкция поверхности по изображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Кристаллография. 2014. Т. 59. № 6. С. 999-1007.

3. Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Meas. Sci. Technol. 2008. V. 19. № 6. P. 065705-1-065705-12.

4. Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трёхмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.

5. Gavrilenko V. P., Mityukhlyaev V. B., Novikov Yu. A., Ozerin Yu. V., Rakov A. V., Todua P. A. Test object of the linewidth with a trapezoidal profile and three certified sizes for an SEM and AFM // Meas. Sci. Technol. 2009. Vol.20, p.084022.

6. Кузин А. Ю., Васильев А. Л., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям // Измерительная техника. 2016. № 3. С. 20-23.