Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Влияние фокусировки на латеральное разрешение интерференционного микроскопа
Abstract
The studies were carried out at several wavelengths by numerical simulations in the wide range of the phase step heights, as well as by processing the real phase images obtained.
About the Authors
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Я. Илюшин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. C. 16-19; Levin G. G e. a. The lateral resolution of an interference microscope // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 5. P. 486-491.
2. Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements. // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61-74.
3. Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Anten. Propagat. 1966. V. 14. P. 302-307.
4. Taflove A., Brodwin M. E. Numerical solution of steady-state electromagnetic scattering problems using the time-dependent Maxwell's equations. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1975. V. 23. P. 623-630.
5. В. П. Тычинский. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205-1214.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2014;(1):45-48. (In Russ.)
Views:
86
Email this article 