сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Влияние фокусировки на латеральное разрешение интерференционного микроскопа
Аннотация
Проанализирована зависимость латерального разрешения интерференционного микроскопа от расстояния между фазовой ступенькой и плоскостью фокуса объектива предметного канала микроскопа. Проведено сравнение результатов измерений на нескольких длинах волн, полученных методом численного моделирования в широком диапазоне высот фазовой ступеньки и путем обработки реальных фазовых изображений.
Об авторах
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Н. Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Я. А. Илюшин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Список литературы
1. Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. C. 16-19; Levin G. G e. a. The lateral resolution of an interference microscope // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 5. P. 486-491.
2. Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements. // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61-74.
3. Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Anten. Propagat. 1966. V. 14. P. 302-307.
4. Taflove A., Brodwin M. E. Numerical solution of steady-state electromagnetic scattering problems using the time-dependent Maxwell's equations. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1975. V. 23. P. 623-630.
5. В. П. Тычинский. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205-1214.
Рецензия
Для цитирования:
Левин Г.Г., Моисеев Н.Н., Илюшин Я.А., Минаев В.Л. Влияние фокусировки на латеральное разрешение интерференционного микроскопа. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2014;(1):45-48.
Просмотров:
82
Послать статью по эл. почте 