Влияние фокусировки на латеральное разрешение интерференционного микроскопа

Проанализирована зависимость латерального разрешения интерференционного микроскопа от расстояния между фазовой ступенькой и плоскостью фокуса объектива предметного канала микроскопа. Проведено сравнение результатов измерений на нескольких длинах волн, полученных методом численного моделирования в широком диапазоне высот фазовой ступеньки и путем обработки реальных фазовых изображений.

интерференционный микроскоп, латеральное разрешение, фазовая ступенька, метод конечных разностей во времени, interference microscope, lateral resolution, phase step, finite difference in time domain method (FDTD)

1. Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. C. 16-19; Levin G. G e. a. The lateral resolution of an interference microscope // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 5. P. 486-491.

2. Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements. // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61-74.

3. Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Anten. Propagat. 1966. V. 14. P. 302-307.

4. Taflove A., Brodwin M. E. Numerical solution of steady-state electromagnetic scattering problems using the time-dependent Maxwell's equations. // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1975. V. 23. P. 623-630.

5. В. П. Тычинский. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205-1214.