Васильев В.А., Чернов П.С. Моделирование и оценка параметровморфологии поверхностей тонких пленок нанои микроэлектромеханических систем. Измерительная техника. 2012;(12):13-16.
Главный редактор
Евгений Русланович Лазаренко
Послать статью по эл. почте (Необходимо имя пользователя (логин))
Связаться с автором (Необходимо имя пользователя (логин)) 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево, ФГУП "ВНИИФТРИ", редакция журнала "Измерительная техника".
тел.: 8(495)781-48-70
e-mail: izmt@yandex.ru
