Моделирование и оценка параметровморфологии поверхностей тонких пленок нанои микроэлектромеханических систем
Аннотация
Рассмотрены тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы датчиков давления, экспериментальные и теоретические методы изучения и результаты оценки параметров морфологии поверхностей пленок. Разработаны модель и алгоритм роста тонких пленок, учитывающие диффузию частиц.
Об авторах
В. А. Васильев
Пензенский государственный университет, Пенза
Россия
Россия
П. С. Чернов
Пензенский государственный университет, Пенза
Россия
Россия
Список литературы
1. Белозубов Е.М., Васильев В.А., Громков Н.В.Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники // Измерительная техника. 2009.№ 7. С.35–38;
2. Belozubov E. M., Vasil`ev V.A., Gromkov N.V. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems – the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering // Measurement Techniques. 2009. V. 52. N 7. P. 739–744.
3. Venables, J. Introduction to Surface and Thin Film Processes. Cambridge: Univer. Press, 2000.
4. Oura K.е. а. Surface Science: An Introduction. N.Y.:Springer, 2010.
5. Hans B., Krause D. Thin Films on Glass. N.Y.:Springer, 2010.
6. Mahan J. E. Physical Vapor Deposition of Thin Films. USA, N. Y.:Wiley-Interscience. 2000.
7. Wilkinson S. F., Edwards D. R.The Surface Statistics of a Granular Aggregate // Proc. Roy. Soc.1982.V. 17. P. 17–31.
8. Kardar M., Parisi G., Zhang Y.-C.Dynamic Scaling of Growing Interfaces // Phys. Rev. Lett. 1986.V. 56. P. 889.
9. Vicsek M., Vicsek T. Fractal Growth Models // ERCIM News.1997. N29. P. 36.
10. Mattos T.G., Moreira J.G., Atman A.P.F. A discrete method to study stochastic growth equations: a cellular automata perspective // J. Phys. A: Math. Theor. 2007. V.40.13245.
11. Bhattacharyya P. Growth of Surfaces Generated by Probabilistic Cellular Automation // Int. J. Modern Physics C.1999. №1. P. 165– 181.
12. Barabasi A. L., Stanley H.E. Fractal concepts in surface growth. Cambrige: Univ. Press? 1995.
13. Russ J. C. The Image Processing Handbook. Boca Raton (USA): CRC Press, 2011.
14. Jeung Hun Park, Chae-Ryung Cho. Deposition-Temperature Effects on AZO Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering and Their Physical Properties // Korean Phys. Soc.2006. V. 49.P. 584–588.
15. DikovskaA.Og.е. а. Thin ZnO filmsproducedbypulsedlaserdeposition // J.Optoelectronics and Advanced Materials.2005. V. 7.N 3.P. 1329–1334.
Рецензия
Для цитирования:
Васильев В.А., Чернов П.С. Моделирование и оценка параметровморфологии поверхностей тонких пленок нанои микроэлектромеханических систем. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(12):13-16.
Просмотров:
48
Послать статью по эл. почте 