Сравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскопов
Abstract
The comparison of lateral resolutions of optical and interferometric microscopes was carried out. A concept of the interference microscope lateral resolution based on the phase step measurement is considered. The results of experiments and numerical simulations are presented.
About the Authors
Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
В. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Russian Federation
Russian Federation
Я. Илюшин
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.
2. Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.
3. Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы // Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17–19; Kovalev A. A., Sukhorukov K. A. Reconstruction of the Shape of a Wavefront in the Presence of Large Phase Changes // Measurement Techniques. 2004. V. 47. N. 4. P. 343–347.
4. Andreev V. A., Indukaev K. V. The Problem of Subrayleigh Resolution in Interference Microscopy // J. Rus. Laser Res. 2003. V. 24. N. 3. P. 220–236.
5. Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61–74.
6. Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966. V. 14. P. 302–307.
7. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. C. 19–24.
8. Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. С. 16–19.
Review
For citations:
, , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2013;(9):48-50. (In Russ.)
Views:
102
Email this article 