Сравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскопов
Аннотация
Проведено сравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскопов. Рассмотрено понятие латерального разрешения интерференционного микроскопа на основе измерения фазовой ступени. Приведены результаты экспериментов и численного моделирования.
Об авторах
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Н. Н. Моисеев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Я. А. Илюшин
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Россия
Россия
Список литературы
1. Скворцов Г. Е. и др. Микроскопы. Л.: Машиностроение, 1969.
2. Тычинский В. П. Сверхразрешение и сингулярности в фазовых изображениях // УФН. 2008. Т. 178. С. 1205–1214.
3. Ковалев А. А., Сухоруков К. А. Восстановление формы волнового фронта при больших изменениях фазы // Измерительная техника. 2004. № 4. С. 17–19; Kovalev A. A., Sukhorukov K. A. Reconstruction of the Shape of a Wavefront in the Presence of Large Phase Changes // Measurement Techniques. 2004. V. 47. N. 4. P. 343–347.
4. Andreev V. A., Indukaev K. V. The Problem of Subrayleigh Resolution in Interference Microscopy // J. Rus. Laser Res. 2003. V. 24. N. 3. P. 220–236.
5. Totzeck M., Tiziani H. J. Interference microscopy of sub-lambda structures: A rigorous computation method and measurements // Opt. Commun. 1997. V. 136. P. 61–74.
6. Yee K. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media // IEEE Trans. Antennas and Propagation. 1966. V. 14. P. 302–307.
7. Минаев В. Л. Интерференционный микроскоп для измерения формы поверхности в микро- и нанодиапазонах // Метрология. 2012. № 7. C. 19–24.
8. Левин Г. Г. и др. О латеральном разрешении интерференционного микроскопа // Измерительная техника. 2013. № 5. С. 16–19.
Рецензия
Для цитирования:
Левин Г.Г., Моисеев Н.Н., Минаев В.Л., Илюшин Я.А. Сравнение латеральных разрешений оптического и интерференционного микроскопов. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2013;(9):48-50.
Просмотров:
101
Послать статью по эл. почте 