|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности
Abstract
Developed and scientifically based method for measuring the Root-Mean-Square value surface height deviations, inhomogeneities relative to the base profile of the optical parts algorithm based on the calculation of a one-dimensional power spectral density in a wide range of spatial frequencies. Analyzed the methodological errors of the developed algorithm is based on the basis of the results of experimental studies conducted on the basis of the dynamic interference system on the shop floor.
Keywords
высокоточный оптический контроль,
характеристики профилей поверхностей,
спектральная плотность корреляционной функции,
динамическая интерферометрия,
краевые эффекты,
the precision optical control,
the characteristics of the surface profile,
the power spectral density,
the dynamic interferometry,
edge effects
About the Authors
Д. Денисов
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Н. Барышников
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Я. Гладышева
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
В. Карасик
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
А. Морозов
АО«Лыткаринский завод оптического стекла»
Russian Federation
Russian Federation
В. Патрикеев
АО«Лыткаринский завод оптического стекла»
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Baisden P. A., Atherton L. J., Hawley R. A., Land T. A., Menapace J. A., Miller P. E., Runkel M. J., Spaeth M. L., Stolz C. J., Suratwala T. I., Wegner P. J., Wong L. L. Large optics for the national ignition facility // LNNL - TR-666625/ 2015. January 28. P. 1-159.
2. Campbell J. H., Hawley - Fedder R.A., Stolz C. J., Menapace J. A., Borden M. R., Whitman P. K., Tu J., Riley M. O., Feit M. D., Hackel R. P. NIF Optical Materials and Fabrication Technologies: An Overview // Proc. SPIE.2004. V. 5341. P. 84-101.
3. Lawson J. K., Aikens D. M., English R. E. Jr., Wolfe C. R. Power Spectral Density Specifications for High Power Lasers // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1996. V. 2775. P. 345.
4. Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Система контроля формы оптических деталей с использованием датчиков волнового фронта. Лазеры в науке, технике, медицине // Сб. науч. трудов ХХV Междунар. конф. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Московского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова, Международной академии связи, Российского онкологического научного центра им. Н. Н. Блохина, НИЯУ "МИФИ", Преображенского научного центра РАН, 2014. С. 64-69.
5. Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Метод и аппаратура аттестационного контроля радиусов кривизны сферических поверхностей оптических изделий при помощи датчика волнового фронта // Сб. трудов V Междунар. конф. по фотонике и информационной оптике, 2016. С. 416-417.
6. Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D. G., Karasik V. E., Sakharov A. A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // Photonics West -2015: Proc. SPIE Conf. and Exhibitions 7-12 February 2015, San Francisco, USA. P. 9369-5.
7. Hiraiwa A., Nishida A. Discrete power spectrum of line width roughness // Appl. Phys. 2009. V. 07495. P. 106.
8. Alcocka S. G., Ludbrooka G. D., Owenb T., Dockreec R. Using the Power Spectral Density method to characterize the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. P. 102-115.
9. Mack C. A. Analytic form for the power spectral density in one, two, and three dimensions // J. Micro/Nanolith.MEMS MOEMS/ 2011. V. 040501. No 10(4).
10. Moses E. I., Campbell J. H., Stolz C. J., Wuest C. R. The National Ignition Facility: The World’s Largest Optics and Laser System” // Proc. SPIE. 2003. V. 5001. P. 1-15.
11. Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Орлов В. М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15-24.
12. ISO 10110-1996. Optics drawing standarts for the national ignition facility.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(2):15-19. (In Russ.)
Views:
92
Email this article 