izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-5Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯМетод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхностиДенисовД. Г.Denisov_DG@mail.ruБарышниковН. В.noemail@neicon.ruГладышеваЯ. В.noemail@neicon.ruКарасикВ. Е.noemail@neicon.ruМорозовА. Б.noemail@neicon.ruПатрикеевВ. Е.noemail@neicon.ruМосковский государственный технический университет им. Н. Э. БауманаRussian FederationАО«Лыткаринский завод оптического стекла»Russian Federation201707022023021519Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/5

Разработан и научно обоснован метод определения среднего квадратического отклонения высот поверхностных неоднородностей на основе алгоритма расчёта спектральной плотности одномерной корреляционной функции в широком диапазоне пространственных частот. Проанализированы методические погрешности алгоритма с использованием результатов экспериментальных исследований, проведённых на измерительном стенде в цеховых условиях.

Developed and scientifically based method for measuring the Root-Mean-Square value surface height deviations, inhomogeneities relative to the base profile of the optical parts algorithm based on the calculation of a one-dimensional power spectral density in a wide range of spatial frequencies. Analyzed the methodological errors of the developed algorithm is based on the basis of the results of experimental studies conducted on the basis of the dynamic interference system on the shop floor.

высокоточный оптический контрольхарактеристики профилей поверхностейспектральная плотность корреляционной функциидинамическая интерферометриякраевые эффектыthe precision optical controlthe characteristics of the surface profilethe power spectral densitythe dynamic interferometryedge effectsReferencesBaisden P. A., Atherton L. J., Hawley R. A., Land T. A., Menapace J. A., Miller P. E., Runkel M. J., Spaeth M. L., Stolz C. J., Suratwala T. I., Wegner P. J., Wong L. L. Large optics for the national ignition facility // LNNL - TR-666625/ 2015. January 28. P. 1-159.Baisden P. A., Atherton L. J., Hawley R. A., Land T. A., Menapace J. A., Miller P. E., Runkel M. J., Spaeth M. L., Stolz C. J., Suratwala T. I., Wegner P. J., Wong L. L. Large optics for the national ignition facility // LNNL - TR-666625/ 2015. January 28. P. 1-159.Campbell J. H., Hawley - Fedder R.A., Stolz C. J., Menapace J. A., Borden M. R., Whitman P. K., Tu J., Riley M. O., Feit M. D., Hackel R. P. NIF Optical Materials and Fabrication Technologies: An Overview // Proc. SPIE.2004. V. 5341. P. 84-101.Campbell J. H., Hawley - Fedder R.A., Stolz C. J., Menapace J. A., Borden M. R., Whitman P. K., Tu J., Riley M. O., Feit M. D., Hackel R. P. NIF Optical Materials and Fabrication Technologies: An Overview // Proc. SPIE.2004. V. 5341. P. 84-101.Lawson J. K., Aikens D. M., English R. E. Jr., Wolfe C. R. Power Spectral Density Specifications for High Power Lasers // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1996. V. 2775. P. 345.Lawson J. K., Aikens D. M., English R. E. Jr., Wolfe C. R. Power Spectral Density Specifications for High Power Lasers // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1996. V. 2775. P. 345.Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Система контроля формы оптических деталей с использованием датчиков волнового фронта. Лазеры в науке, технике, медицине // Сб. науч. трудов ХХV Междунар. конф. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Московского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова, Международной академии связи, Российского онкологического научного центра им. Н. Н. Блохина, НИЯУ "МИФИ", Преображенского научного центра РАН, 2014. С. 64-69.Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Система контроля формы оптических деталей с использованием датчиков волнового фронта. Лазеры в науке, технике, медицине // Сб. науч. трудов ХХV Междунар. конф. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Московского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова, Международной академии связи, Российского онкологического научного центра им. Н. Н. Блохина, НИЯУ "МИФИ", Преображенского научного центра РАН, 2014. С. 64-69.Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Метод и аппаратура аттестационного контроля радиусов кривизны сферических поверхностей оптических изделий при помощи датчика волнового фронта // Сб. трудов V Междунар. конф. по фотонике и информационной оптике, 2016. С. 416-417.Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Метод и аппаратура аттестационного контроля радиусов кривизны сферических поверхностей оптических изделий при помощи датчика волнового фронта // Сб. трудов V Междунар. конф. по фотонике и информационной оптике, 2016. С. 416-417.Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D. G., Karasik V. E., Sakharov A. A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // Photonics West -2015: Proc. SPIE Conf. and Exhibitions 7-12 February 2015, San Francisco, USA. P. 9369-5.Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D. G., Karasik V. E., Sakharov A. A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // Photonics West -2015: Proc. SPIE Conf. and Exhibitions 7-12 February 2015, San Francisco, USA. P. 9369-5.Hiraiwa A., Nishida A. Discrete power spectrum of line width roughness // Appl. Phys. 2009. V. 07495. P. 106.Hiraiwa A., Nishida A. Discrete power spectrum of line width roughness // Appl. Phys. 2009. V. 07495. P. 106.Alcocka S. G., Ludbrooka G. D., Owenb T., Dockreec R. Using the Power Spectral Density method to characterize the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. P. 102-115.Alcocka S. G., Ludbrooka G. D., Owenb T., Dockreec R. Using the Power Spectral Density method to characterize the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. P. 102-115.Mack C. A. Analytic form for the power spectral density in one, two, and three dimensions // J. Micro/Nanolith.MEMS MOEMS/ 2011. V. 040501. No 10(4).Mack C. A. Analytic form for the power spectral density in one, two, and three dimensions // J. Micro/Nanolith.MEMS MOEMS/ 2011. V. 040501. No 10(4).Moses E. I., Campbell J. H., Stolz C. J., Wuest C. R. The National Ignition Facility: The World’s Largest Optics and Laser System” // Proc. SPIE. 2003. V. 5001. P. 1-15.Moses E. I., Campbell J. H., Stolz C. J., Wuest C. R. The National Ignition Facility: The World’s Largest Optics and Laser System” // Proc. SPIE. 2003. V. 5001. P. 1-15.Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Орлов В. М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15-24.Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Орлов В. М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15-24.ISO 10110-1996. Optics drawing standarts for the national ignition facility.ISO 10110-1996. Optics drawing standarts for the national ignition facility.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.