Открытый доступ
Только для подписчиков
Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности
Аннотация
Разработан и научно обоснован метод определения среднего квадратического отклонения высот поверхностных неоднородностей на основе алгоритма расчёта спектральной плотности одномерной корреляционной функции в широком диапазоне пространственных частот. Проанализированы методические погрешности алгоритма с использованием результатов экспериментальных исследований, проведённых на измерительном стенде в цеховых условиях.
Ключевые слова
высокоточный оптический контроль,
характеристики профилей поверхностей,
спектральная плотность корреляционной функции,
динамическая интерферометрия,
краевые эффекты,
the precision optical control,
the characteristics of the surface profile,
the power spectral density,
the dynamic interferometry,
edge effects
Об авторах
Д. Г. Денисов
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Н. В. Барышников
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Я. В. Гладышева
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
В. Е. Карасик
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
А. Б. Морозов
АО«Лыткаринский завод оптического стекла»
Россия
Россия
В. Е. Патрикеев
АО«Лыткаринский завод оптического стекла»
Россия
Россия
Список литературы
1. Baisden P. A., Atherton L. J., Hawley R. A., Land T. A., Menapace J. A., Miller P. E., Runkel M. J., Spaeth M. L., Stolz C. J., Suratwala T. I., Wegner P. J., Wong L. L. Large optics for the national ignition facility // LNNL - TR-666625/ 2015. January 28. P. 1-159.
2. Campbell J. H., Hawley - Fedder R.A., Stolz C. J., Menapace J. A., Borden M. R., Whitman P. K., Tu J., Riley M. O., Feit M. D., Hackel R. P. NIF Optical Materials and Fabrication Technologies: An Overview // Proc. SPIE.2004. V. 5341. P. 84-101.
3. Lawson J. K., Aikens D. M., English R. E. Jr., Wolfe C. R. Power Spectral Density Specifications for High Power Lasers // Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. 1996. V. 2775. P. 345.
4. Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Система контроля формы оптических деталей с использованием датчиков волнового фронта. Лазеры в науке, технике, медицине // Сб. науч. трудов ХХV Междунар. конф. МГТУ им. Н. Э. Баумана, Московского научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова, Международной академии связи, Российского онкологического научного центра им. Н. Н. Блохина, НИЯУ "МИФИ", Преображенского научного центра РАН, 2014. С. 64-69.
5. Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Сахаров А. А. Метод и аппаратура аттестационного контроля радиусов кривизны сферических поверхностей оптических изделий при помощи датчика волнового фронта // Сб. трудов V Междунар. конф. по фотонике и информационной оптике, 2016. С. 416-417.
6. Nikitin A. N., Kudryashov A. V., Sheldakova J., Denisov D. G., Karasik V. E., Sakharov A. A. Hartmannometer vs Fizeau interferometer: advantages and drawbacks // Photonics West -2015: Proc. SPIE Conf. and Exhibitions 7-12 February 2015, San Francisco, USA. P. 9369-5.
7. Hiraiwa A., Nishida A. Discrete power spectrum of line width roughness // Appl. Phys. 2009. V. 07495. P. 106.
8. Alcocka S. G., Ludbrooka G. D., Owenb T., Dockreec R. Using the Power Spectral Density method to characterize the surface topography of optical surfaces // Proc. SPIE. 2010. V. 7801. P. 102-115.
9. Mack C. A. Analytic form for the power spectral density in one, two, and three dimensions // J. Micro/Nanolith.MEMS MOEMS/ 2011. V. 040501. No 10(4).
10. Moses E. I., Campbell J. H., Stolz C. J., Wuest C. R. The National Ignition Facility: The World’s Largest Optics and Laser System” // Proc. SPIE. 2003. V. 5001. P. 1-15.
11. Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Орлов В. М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. № 9. С. 15-24.
12. ISO 10110-1996. Optics drawing standarts for the national ignition facility.
Рецензия
Для цитирования:
Денисов Д.Г., Барышников Н.В., Гладышева Я.В., Карасик В.Е., Морозов А.Б., Патрикеев В.Е. Метод аттестационного контроля поверхностных неоднородностей оптических деталей на основе частотного анализа профиля поверхности. Измерительная техника. 2017;(2):15-19.
Просмотров: 10
Послать статью по эл. почте 