Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Измерение толщины тонких плёнок с использованием гармонических антисимметричных волн Лэмба
Abstract
Method of thickness measurement using acoustic waves in micron-rated range of thin films is propose. The method is based on the use of non-linear dependence of harmonic antisymmetric Lamb waves for thickness. Considered when using electromagnetic acoustic (EMA) receiver of the acoustic wave, the measurement error of the thickness of thin films
References
1. Готра З. Ю. Контроль технологии гибридных интегральных схем. Львов, Каменяр, 1981.
2. Технология тонких плёнок. Справочник в 2 т. / Под ред. Л. Майсенла, Р. Гленга. М.: Советское радио, 1977.
3. Королев М. В. Эхо-импульсные толщиномеры. М.: Машиностроение, 1980.
4. Викторов И. А. Физические основы применения ультразвуковых волн Рэлея и Лэмба в технике. М.: Наука, 1966.
5. Толипов Х. Б., Клещев Д. Г., Березин В. М. Использование волн Лэмба для измерения толщины тонких металлических пленок // Приборы и техника эксперимента. 2017. № 2. С. 137-139.
6. Tolipov Kh. Stagnant Nonuniform Acoustic Waves // Advanced Res. 2013. V. 684. Р. 667-670. Trans Tech Publications. Switzerland. doi:10.4028/www.scientific.net/AMR.684.667
7. Толипов Х. Б. Возможности повышения эффективности бесконтактного излучателя акустических волн // Дефектоскопия. 2017. № 4. С. 71-74
Review
For citations:
. Izmeritel`naya Tekhnika. 2018;(6):70-72. (In Russ.)
Views:
77
Email this article 