Предложен метод измерения толщины тонких плёнок в микрометровом диапазоне с использованием акустических волн. Метод основан на нелинейной зависимости антисимметричных гармонических волн Лэмба от толщины зондируемого материала. Рассмотрены погрешности измерений толщины тонких плёнок с применением бесконтактного электромагнитоакустического преобразователя акустической волны
Method of thickness measurement using acoustic waves in micron-rated range of thin films is propose. The method is based on the use of non-linear dependence of harmonic antisymmetric Lamb waves for thickness. Considered when using electromagnetic acoustic (EMA) receiver of the acoustic wave, the measurement error of the thickness of thin films
The authors declare that there are no conflicts of interest present.