сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерение толщины тонких плёнок с использованием гармонических антисимметричных волн Лэмба
Аннотация
Предложен метод измерения толщины тонких плёнок в микрометровом диапазоне с использованием акустических волн. Метод основан на нелинейной зависимости антисимметричных гармонических волн Лэмба от толщины зондируемого материала. Рассмотрены погрешности измерений толщины тонких плёнок с применением бесконтактного электромагнитоакустического преобразователя акустической волны
Список литературы
1. Готра З. Ю. Контроль технологии гибридных интегральных схем. Львов, Каменяр, 1981.
2. Технология тонких плёнок. Справочник в 2 т. / Под ред. Л. Майсенла, Р. Гленга. М.: Советское радио, 1977.
3. Королев М. В. Эхо-импульсные толщиномеры. М.: Машиностроение, 1980.
4. Викторов И. А. Физические основы применения ультразвуковых волн Рэлея и Лэмба в технике. М.: Наука, 1966.
5. Толипов Х. Б., Клещев Д. Г., Березин В. М. Использование волн Лэмба для измерения толщины тонких металлических пленок // Приборы и техника эксперимента. 2017. № 2. С. 137-139.
6. Tolipov Kh. Stagnant Nonuniform Acoustic Waves // Advanced Res. 2013. V. 684. Р. 667-670. Trans Tech Publications. Switzerland. doi:10.4028/www.scientific.net/AMR.684.667
7. Толипов Х. Б. Возможности повышения эффективности бесконтактного излучателя акустических волн // Дефектоскопия. 2017. № 4. С. 71-74
Рецензия
Для цитирования:
Толипов Х.Б. Измерение толщины тонких плёнок с использованием гармонических антисимметричных волн Лэмба. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2018;(6):70-72.
Просмотров:
62
Послать статью по эл. почте 