Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Разработка экспериментально-аналитической методики определения температурных деформаций концевых мер длины в нанометровом диапазоне
Abstract
The influence of thermal strains of end standards of meter on the precision elements control process is considered. The experimental-analytical procedure of determination of end standards of meter temperature deformations used at linear nanoscale measurements is suggested and tested experimentally.
About the Authors
О. Башевская
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
С. Бушуев
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
Ю. Подураев
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
М. Ковальский
ОАО ”НИИизмерения
Russian Federation
Russian Federation
Г. Кайнер
ОАО ”НИИизмерения
Russian Federation
Russian Federation
Е. Ромаш
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
Е. Мельниченко
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Кайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22-27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement Techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833-840.
2. Кайнер Г. Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 2. С. 6-10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262-1268.
3. Марков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.
4. ГОСТ 8.592-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния.
5. Башевская О. С. и др. Исследование влияния температурных деформаций на точность линейных измерений // Измерительная техника. 2013. № 9. С. 34-36; Bashevskaya O. S. An Investigation of the Influence of Temperature Deformations on the Precision of Linear Measurements // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 9. P. 1016-1020.
6. Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика 2012. № 12. С. 36-42.
7. Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ Станкин. 2011. Т. 2. № 4. С. 150-155.
8. ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.
Review
For citations:
, , , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2014;(3):8-11. (In Russ.)
Views:
58
Email this article 