izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-422Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГИЯРазработка экспериментально-аналитической методики определения температурных деформаций концевых мер длины в нанометровом диапазонеБашевскаяО. С.bashevskaya@mail.ruБушуевС. В.noemail@neicon.ruПодураевЮ. В.noemail@neicon.ruКовальскийМ. Г.kovalskiy@micron.ruКайнерГ. Б.noemail@neicon.ruРомашЕ. В.noemail@neicon.ruМельниченкоЕ. А.noemail@neicon.ruМосковский государственный технологический университет «СТАНКИН»Russian FederationОАО ”НИИизмеренияRussian Federation20140702202303811Copyright © Башевская О.С., Бушуев С.В., Подураев Ю.В., Ковальский М.Г., Кайнер Г.Б., Ромаш Е.В., Мельниченко Е.А., 20232023Башевская О.С., Бушуев С.В., Подураев Ю.В., Ковальский М.Г., Кайнер Г.Б., Ромаш Е.В., Мельниченко Е.А.Башевская О.С., Бушуев С.В., Подураев Ю.В., Ковальский М.Г., Кайнер Г.Б., Ромаш Е.В., Мельниченко Е.А.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.izmt.ru/jour/article/view/422

Рассмотрено влияние температурных деформаций концевых мер длины на процесс контроля прецизионных деталей. Предложена и экспериментально апробирована экспериментально-аналитическая методика определения температурных деформаций концевых мер длины, используемая при проведении линейных измерений в нанометровом диапазоне.

The influence of thermal strains of end standards of meter on the precision elements control process is considered. The experimental-analytical procedure of determination of end standards of meter temperature deformations used at linear nanoscale measurements is suggested and tested experimentally.

температурные деформацииконцевые меры длинынанометровый диапазонtemperature deformationsend standards of meternanometer rangeReferencesКайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22-27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement Techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833-840.Кайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22-27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement Techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833-840.Кайнер Г. Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 2. С. 6-10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262-1268.Кайнер Г. Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 2. С. 6-10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262-1268.Марков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.Марков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.ГОСТ 8.592-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния.ГОСТ 8.592-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния.Башевская О. С. и др. Исследование влияния температурных деформаций на точность линейных измерений // Измерительная техника. 2013. № 9. С. 34-36; Bashevskaya O. S. An Investigation of the Influence of Temperature Deformations on the Precision of Linear Measurements // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 9. P. 1016-1020.Башевская О. С. и др. Исследование влияния температурных деформаций на точность линейных измерений // Измерительная техника. 2013. № 9. С. 34-36; Bashevskaya O. S. An Investigation of the Influence of Temperature Deformations on the Precision of Linear Measurements // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 9. P. 1016-1020.Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика 2012. № 12. С. 36-42.Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика 2012. № 12. С. 36-42.Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ Станкин. 2011. Т. 2. № 4. С. 150-155.Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ Станкин. 2011. Т. 2. № 4. С. 150-155.ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.