

Разработка экспериментально-аналитической методики определения температурных деформаций концевых мер длины в нанометровом диапазоне
Аннотация
Об авторах
О. С. БашевскаяРоссия
С. В. Бушуев
Россия
Ю. В. Подураев
Россия
М. Г. Ковальский
Россия
Г. Б. Кайнер
Россия
Е. В. Ромаш
Россия
Е. А. Мельниченко
Россия
Список литературы
1. Кайнер Г. Б. Совершенствование метрологического обеспечения технологий обработки прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2007. № 8. С. 22-27; Kainer G. B. Improvement in metrological provision for processing technology of precision components in the nanometer range // Measurement Techniques. 2007. V. 50. N. 8. P. 833-840.
2. Кайнер Г. Б. Новые методы оценки деформаций при измерении линейных параметров прецизионных деталей в нанометровом диапазоне // Измерительная техника. 2008. № 2. С. 6-10; Kainer G. B. New methods for estimating deformations in measurement of the linear parameters of precision parts in the nanometric range // Measurement Techniques. 2008. V. 51. N. 12. P. 1262-1268.
3. Марков Н. Н, Сацердотов П. А. Погрешности от температурных деформаций при линейных измерениях. М.: Машиностроение, 1976.
4. ГОСТ 8.592-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния.
5. Башевская О. С. и др. Исследование влияния температурных деформаций на точность линейных измерений // Измерительная техника. 2013. № 9. С. 34-36; Bashevskaya O. S. An Investigation of the Influence of Temperature Deformations on the Precision of Linear Measurements // Measurement Techniques. 2013. V. 56. N. 9. P. 1016-1020.
6. Башевская О. С., Кайнер Г. Б., Ромаш Е. В. Комплексная оценка тепловизионным методом состояния доведенных поверхностей в машиностроении // Контроль. Диагностика 2012. № 12. С. 36-42.
7. Игнатьев П. С. и др. Применение интерференционной микроскопии для анализа микро- и нанорельефа и дефектов поверхностей крупногабаритных деталей в различных отраслях промышленности // Вестник МГТУ Станкин. 2011. Т. 2. № 4. С. 150-155.
8. ГОСТ 8.050-73. ГСИ. Нормальные условия выполнения линейных и угловых измерений.
Рецензия
Для цитирования:
Башевская О.С., Бушуев С.В., Подураев Ю.В., Ковальский М.Г., Кайнер Г.Б., Ромаш Е.В., Мельниченко Е.А. Разработка экспериментально-аналитической методики определения температурных деформаций концевых мер длины в нанометровом диапазоне. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2014;(3):8-11.