Прослеживаемость результатов измерений в нанометровом диапазоне к единицам Международной системы единиц физических величин
Аннотация
Рассмотрены вопросы обеспечения прослеживаемости результатов измерений в нанометровом диапазоне к эталонам, включенным в базу CMC МБМВ: измерения геометрических размеров, для которых предложен набор калибровочных (поверочных) мер, и цепочка прослеживаемости к эталону - метрологическому атомно-силовому микроскопу; два метода калибровки сканирующих зондовых микроскопов - прямой и с использованием фурье-образа топограммы меры; методика калибровки растровых электронных микроскопов; бюджет неопределенности и формулы для расчета его составляющих при калибровке по рельефной мере нанометрового диапазона TGQ1.
Ключевые слова
620.1.08(017)
Об авторах
С. С. Голубев
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
С. Н. Голубев
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы, Москва
Россия
Россия
Список литературы
1. Лысенко В. Г., Голубев С. С., Пошивалов А. В. Методы и средства обеспечения единства измерений в нанотехнологиях //Мир измерений. 2005. № 8. С.10-15.
2. Кононогов С. А., Голубев С. С., Лысенко В. Г. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона //Законодательная и прикладная метрология. 2008. № 3. С. 19-27.
3. Тодуа П. А. и др. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию //Микросистемная техника. 2004. № 1. С. 38-44; № 2. С. 24-39; № 3. С. 25-32.
4. Волк Ч. П., Новиков Ю. А., Раков А. В. Калибровка РЭМ с помощью периодической линейной меры микрометрового и субмикрометрового диапазонов //Измерительная техника. 2000. № 4. С. 48 - 52;
5. Volk Ch. P., Novikov Yu. A., Rakov A. V. Sem calibration in the micrometer and submicrometer ranges by means of a periodic linear measure //Measurement Techniques. 2000. V. 43. N 4. P. 346 - 352.
6. Голубев С. С., Голубев С. Н. Метрологические аспекты оценки безопасности наноматериалов // 1-я Междунар. науч. школа «Нано-2009». М., 2009.
7. http://kcdb.bipm.org/appendixC/search.asp?reset=1&met=L; Country=Germany
8. Волк Ч. П. и др. Универсальная линейная мера для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии //Электронная промышленность. 2000. № 3. С. 60-64.
Рецензия
Для цитирования:
Голубев С.С., Голубев С.Н. Прослеживаемость результатов измерений в нанометровом диапазоне к единицам Международной системы единиц физических величин. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2010;(11):13-17.
Просмотров:
80
Послать статью по эл. почте 