|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Использование информационной избыточности в оптических цифровых измерительных системах
Abstract
In article is reviewed uniform method of the organization of measurements in optical digital measuring systems with a 2D-sensor, based on full use of information redundancy, namely, use of coordinate information on the object, distributed on all of an image field. Efficiency of the reviewed method is shown on the example of autocollimators. Results of the simulation and experiments confirm possibility to increase accuracy of devices to ten times which use multi-element mark and coordinate information on all information field. The main problems of development and using of the reviewed method are formulated.
About the Authors
А. Королёв
ООО «Оптические цифровые измерительные системы»
Russian Federation
Russian Federation
А. Лукин
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Russian Federation
Russian Federation
Г. Полищук
ОАО «ЛОМО»
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Бельский А. Б., Ган М., Миронов И., Сейсян Р. П. Перспективы развития оптических систем для нанолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 59-69.
2. Королёв А. Н., Гарцуев А. И. Исследование точности позиционирования изображения на ПЗС матрице // Измерительная техника. 2004. № 5. С. 20-22.
3. Geckeler R., Krause M., Just A., Kranz O., Bosse H. New frontiers in angle metrology at the PTB // Measurement. 2015. V. 73. P. 231-238.
4. Chen Z., Huang P. S. A vision-based method for planar position measurement // Meas. Sci. Technol. 2016. N. 27. P. 125018.
5. Suzuki T., Endo T., Sasaki O., Greivenkamp J. E. Two-dimensional small-rotation-angle measurement using an imaging method // Optical Engineering. 2006. N. 45(4). P. 043604.
6. Hsu C. J., Lu M., Lu Y. Distance and angle Measurement of objects on an oblique plane based on pixel number variation of CCD images // IEEE Trans. Inst. & Meas. 2011. V. 60. N. 5. P. 1779-1794.
7. Feng C., Kajima M., Gonda S., Minoshima K., Fujimoto H., Zeng L. Accurate measurement of orthogonality of equal-period, two-dimensional gratings by an interferometric method // Metrologia. 2012. V. 49. P.236-244.
8. Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Цифровой двухкоординатный автоколлиматор // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 10. С. 42-47.
9. Королёв А. Н., Гарцуев А. И., Полищук Г. С, Трегуб В. П. Метрологические исследования и выбор формы оптической марки в цифровых измерительных системах // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 25-27.
10. Гончаров Н. В. Обзор современной углоизмерительной техники // Фотоника. 2014. № 1. C. 64-72.
11. Харитонова Е. Н. Определение оптимальных формы и размера маркера цифрового автоколлиматора // Измерительная техника. 2011. № 5. С. 22-25.
12. Geckeler, R. D., Just, A., Krause, M., Yashchuck, V. V., Autocollimators for deflectometry: Current status and future progress // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. 2010. A. 616. P. 140-146.
13. Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С. Новая концепция измерения угла; модельные и экспериментальные исследования // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 6. С. 52-58.
14. Eves B. J. The NRC autocollimator calibration facility // Metrologia. 2013. V. 50. P. 433-440.
15. Королёв А. Н., Лукин А. Я., Полищук Г. С., Трегуб В. П. Оптический цифровой автоматизированный измеритель отклонений от прямолинейности // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 45-50.
Review
For citations:
, , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(3):29-33. (In Russ.)
Views:
87
Email this article 