|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Измерение высоты элементов нанорельефа поверхности методом трёхмерной реконструкции в растровом электронном микроскопе
Abstract
We carried out comparison measurements of step height of the test sample (TS) using methods of three-dimensional reconstruction in SEM (S-4800) and surface profilometry. Relief structure of TS was fabricated on the surface of silicon chip. The surface profiler AlphaStep D-600 was calibrated using KTS-4500 QS step height standard (VLSI). Au island film was deposited on the surface of TS for realization of 3D reconstruction method in SEM. The consistent results of measurements (457,3±3,1 нм и 457,0±3,4 нм) by these methods are obtained. Possibility of diminishing the measurement uncertainty by 3D reconstruction method in SEM was analyzed.
About the Authors
С. Дарзнек
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
Д. Карабанов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation
Russian Federation
В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт; Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Kim J. A., Kim J. W., Park B. C., Eom T. B. Measurement of microscope calibration standards in nanometrology using a metrological atomic force microscope // Meas. Sci. Technol. 2006. V.17. P. 1792-1800.
2. Dixson R., Orji N. G., Fu J., Cresswell , Allen R., Guthrie W. Traceable Atomic Force Microscope Dimensional Metrology at NIST // Proc. SPIE. 2006. V. 6152. P.61520P-1-61520P-11.
3. Thomsen-Schmidt P., Hasche K., Ulm G., Hermann K., Krumrey M., Ade G., Stumpel J., Busch I., Schadlich S., Schindler A., Frank W., Hirsch D., Procop M., Beck U. Realisation and metrological characterization of thickness standards below 100 nm // Appl. Phys. A. 2004. V.78. P.645-649.
4. Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. No. 4. P. 392-396.
5. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Measurement Science and Technology. 2011. V. 22. No. 3. P. 035103-1-035103-11.
6. Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Measurement Science and Technology. 2008. V. 19. No. 6. P. 065705-1-065705-12.
7. Bariani P., De Chiffre L., Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traceability of three-dimensional scanning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique// Precis. Eng. 2005. V. 29. P.219-228.
8. Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трёхмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе// Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.
9. Кузин А. Ю., Васильев А. Л., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Анализ факторов, влияющих на погрешность трехмерной реконструкции поверхности объектов с субмикронным рельефом, по полученным в РЭМ стереоизображениям // Измерительная техника. 2016. № 3. С. 20-23.
10. Кузин А. Ю., Васильев А. Л., Карабанов Д. А., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Пресняков М. Ю., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Экспериментальные исследования трехмерной реконструкции рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2016. № 8. С. 21-24.
11. Киртаев Р. В., Кузин А. Ю., Маслов В. Г., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Калибровка растровых электронных микроскопов в широком диапазоне увеличений // Измерительная техника. 2016. №12. С. 7-10.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(3):15-18. (In Russ.)
Views:
69
Email this article 