|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Измерение высоты элементов нанорельефа поверхности методом трёхмерной реконструкции в растровом электронном микроскопе
Аннотация
Проведены сравнительные измерения высоты ступени нанорельефа поверхности кремниевой пластины методами трёхмерной реконструкции с помощью растрового электронного микроскопа и профилометрии. Для реализации метода трёхмерной реконструкции на поверхности тестового образца формировали островковую плёнку золота. Профилометр AlphaStep D-600 калибровали с помощью меры высоты ступени KTS-4500 QS (VLSI). Установлено совпадение результатов измерений методами трёхмерной реконструкции и профилометрии. Проанализированы возможности уменьшения неопределённости результатов измерений методом трёхмерной реконструкции.
Об авторах
С. А. Дарзнек
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
Д. А. Карабанов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт; Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Kim J. A., Kim J. W., Park B. C., Eom T. B. Measurement of microscope calibration standards in nanometrology using a metrological atomic force microscope // Meas. Sci. Technol. 2006. V.17. P. 1792-1800.
2. Dixson R., Orji N. G., Fu J., Cresswell , Allen R., Guthrie W. Traceable Atomic Force Microscope Dimensional Metrology at NIST // Proc. SPIE. 2006. V. 6152. P.61520P-1-61520P-11.
3. Thomsen-Schmidt P., Hasche K., Ulm G., Hermann K., Krumrey M., Ade G., Stumpel J., Busch I., Schadlich S., Schindler A., Frank W., Hirsch D., Procop M., Beck U. Realisation and metrological characterization of thickness standards below 100 nm // Appl. Phys. A. 2004. V.78. P.645-649.
4. Piazzesi G. Photogrammetry with the scanning electron microscope // J. Phys. E: Sci. Instrum. 1973. V. 6. No. 4. P. 392-396.
5. Carli L., Genta G., Cantatore A., Barbato G., Chiffre L., Levi R. Uncertainty evaluation for three-dimensional scanning electron microscope reconstructions based on the stereo-pair technique // Measurement Science and Technology. 2011. V. 22. No. 3. P. 035103-1-035103-11.
6. Marinello F., Bariani P., Savio E., Horsewel A., Chiffre L. Critical factors in SEM 3D stereo microscopy // Measurement Science and Technology. 2008. V. 19. No. 6. P. 065705-1-065705-12.
7. Bariani P., De Chiffre L., Hansen H. N., Horsewell A. Investigation on the traceability of three-dimensional scanning electron microscope measurements based on the stereo-pair technique// Precis. Eng. 2005. V. 29. P.219-228.
8. Гавриленко В. П., Карабанов Д. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Баймухаметов Т. Н., Васильев А. Л. Трёхмерная реконструкция поверхности рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе// Измерительная техника. 2015. № 3. С. 15-18.
9. Кузин А. Ю., Васильев А. Л., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Анализ факторов, влияющих на погрешность трехмерной реконструкции поверхности объектов с субмикронным рельефом, по полученным в РЭМ стереоизображениям // Измерительная техника. 2016. № 3. С. 20-23.
10. Кузин А. Ю., Васильев А. Л., Карабанов Д. А., Митюхляев В. Б., Михуткин А. А., Пресняков М. Ю., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Экспериментальные исследования трехмерной реконструкции рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе // Измерительная техника. 2016. № 8. С. 21-24.
11. Киртаев Р. В., Кузин А. Ю., Маслов В. Г., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Калибровка растровых электронных микроскопов в широком диапазоне увеличений // Измерительная техника. 2016. №12. С. 7-10.
Рецензия
Для цитирования:
Дарзнек С.А., Карабанов Д.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Измерение высоты элементов нанорельефа поверхности методом трёхмерной реконструкции в растровом электронном микроскопе. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2017;(3):15-18.
Просмотров:
65
Послать статью по эл. почте 