Метрологический самоконтроль интеллектуальных датчиков измерительных и управляющих систем

Аннотация

Рассмотрены основные структурные блоки и функциональные возможности интеллектуальных датчиков. Предложена реализация функции метрологического диагностического самоконтроля датчиков с мостовой измерительной схемой. Исследован адаптивный тензорезисторный датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы.