Рассмотрены основные структурные блоки и функциональные возможности интеллектуальных датчиков. Предложена реализация функции метрологического диагностического самоконтроля датчиков с мостовой измерительной схемой. Исследован адаптивный тензорезисторный датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы.
The various Russian and foreign definitions of smart (intellectual) sensor, its structure and functions are discussed. Implementation of metrological self-checking function in bridge-based sensors is given along with an example of adaptive strain gauge pressure sensor based on nano- and microelectromechanical system.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.