|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Совмещение функций измерения и управления в структуре многослойного пьезоэлектрического актюатора нано- и микроперемещений
Abstract
The principles of creation precision positioning devices which based on piezoelectric effect were studied. А promising scientific direction in the development of piezo actuators - self-sensing actuators, which simultaneously perform two functions: actuating mechanism (actuator) and the primary measuring transducer (sensor feedback), was selected. Аn original structure of the self-sensing multilayer piezoelectric actuator of nano- and micromovings is suggested. It was given a structural variant of the control circuit of the self-sensing multilayer piezoelectric actuator, in which the integrating scanning frequency converter used as the measuring transducer. The advantages of such a structural control scheme are shown.
About the Authors
В. Бардин
Пензенский государственный университет
Russian Federation
Russian Federation
В. Васильев
Пензенский государственный университет
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Бобцов А. А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. И. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. С.-Петербург: ИТМО, 2011.
2. Амельченко А. Г., Бардин В. А., Васильев В. А. Системы управления и элементы усиливающего пьезоэлектрического актюатора для прецизионного позиционирования // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2015. № 3 (35). С. 106-119.
3. Mackeyville P. A. Piezoceramics Actuator: Principles and Applications. APC Int. Ltd, 2011.
4. Панич А. Е. Пьезокерамические актюаторы. Ростов на Дону: РГУ, 2008.
5. Roel J. E. Merry. Performance-driven control of nano-motion systems. Eindhoven University of Technology, 2009.
6. Henderson D. A. Novel piezo motor enables positive displacement micro fluidic pump. New Scale Technologiesс // NSTI Nanotech. 2007. P. 1-4.
7. Бардин В. А., Васильев В. А., Чернов П. С. Принципы построения и перспективы исследований пьезоактюаторов для нано- и микропозиционирования // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 1. С. 37-47.
8. Бардин В. А., Васильев В. А., Чернов П. С. Проблемы создания исполнительных механизмов и устройств для нано- и микроперемещений на основе пьезоэффекта // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2015. № 7. С. 6-12.
9. Yi K. A., Veillette R. J. A Charge Controller for Linear Operation of a Piezoelectric Stack Actuator // IEEE Transactions on Control Systems Technology. 2005. V. 13. No. 4.
10. Каталог. [Офиц. сайт] http://www.physikinstrumente.com (дата обращения 20.08.2016 г.)
11. Каталог. [Офиц. сайт] http://www.cedrat-technologies.com. (дата обращения 25.08.2016 г.)
12. Garnett E. Simmers J., Hodgkins J. R., Mascarenas D. D., Park G., Sohn, H. Improved piezoelectric self-sensing actuation // J. Intelligent Material Systemsand Structures. 2004. V. 15. P. 941-953.
13. Manning W. J., Plummer A. R., Levesley M. C. Vibration control of a flexible beam with integrated actuators and sensors. Smart Materials Structures. 2000. V. 9. P. 932-939.
14. Mahmood S. O. R., Moheimani K. Liu. Tracking Control of a Nanopositioner Using Complementary Sensor // IEEE Transactions on Nanotechnology. 2009. V. 8. No. 1. P. 86.
15. Arnfinn A. E., Gravdahl J. T., Pettersen K. Y. Adaptivefeed-forward hysteresis compensation for piezoelectric actuators // Rev. Sci. Instrum. 2012. V. 83. P. 085001.
16. Kawamata A., Kadota Y., Hosaka H., Morita T. Self-Sensing Piezoelectric Actuator using Permittivity Detection // Ferroelectrics. 2008. V. 368. P. 194-201.
17. Бардин В. А., Васильев В. А., Громков Н. В. Частотные интегрирующие развёртывающие преобразователи и их применение для датчиков и актюаторов // Надёжность и качество: тр. Междунар. симп. Пенза. 2015. Т. 2. С. 8-11.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(7):44-48. (In Russ.)
Views:
71
Email this article 