|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Совмещение функций измерения и управления в структуре многослойного пьезоэлектрического актюатора нано- и микроперемещений
Аннотация
Исследованы принципы создания прецизионных устройств позиционирования на основе пьезоэлектрического эффекта. Выделено перспективное научное направление в развитии пьезоактюаторов - создание саморегулируемых устройств, одновременно выполняющих функции исполнительного механизма (актюатора) и первичного измерительного преобразователя (датчика обратной связи). Разработана оригинальная структура алаптивного многослойного пьезоэлектрического актюатора нано- и микроперемещений. Приведена его структурная схема и показаны её достоинства.
Об авторах
В. А. Бардин
Пензенский государственный университет
Россия
Россия
В. А. Васильев
Пензенский государственный университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Бобцов А. А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. И. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. С.-Петербург: ИТМО, 2011.
2. Амельченко А. Г., Бардин В. А., Васильев В. А. Системы управления и элементы усиливающего пьезоэлектрического актюатора для прецизионного позиционирования // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2015. № 3 (35). С. 106-119.
3. Mackeyville P. A. Piezoceramics Actuator: Principles and Applications. APC Int. Ltd, 2011.
4. Панич А. Е. Пьезокерамические актюаторы. Ростов на Дону: РГУ, 2008.
5. Roel J. E. Merry. Performance-driven control of nano-motion systems. Eindhoven University of Technology, 2009.
6. Henderson D. A. Novel piezo motor enables positive displacement micro fluidic pump. New Scale Technologiesс // NSTI Nanotech. 2007. P. 1-4.
7. Бардин В. А., Васильев В. А., Чернов П. С. Принципы построения и перспективы исследований пьезоактюаторов для нано- и микропозиционирования // Нано- и микросистемная техника. 2015. № 1. С. 37-47.
8. Бардин В. А., Васильев В. А., Чернов П. С. Проблемы создания исполнительных механизмов и устройств для нано- и микроперемещений на основе пьезоэффекта // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2015. № 7. С. 6-12.
9. Yi K. A., Veillette R. J. A Charge Controller for Linear Operation of a Piezoelectric Stack Actuator // IEEE Transactions on Control Systems Technology. 2005. V. 13. No. 4.
10. Каталог. [Офиц. сайт] http://www.physikinstrumente.com (дата обращения 20.08.2016 г.)
11. Каталог. [Офиц. сайт] http://www.cedrat-technologies.com. (дата обращения 25.08.2016 г.)
12. Garnett E. Simmers J., Hodgkins J. R., Mascarenas D. D., Park G., Sohn, H. Improved piezoelectric self-sensing actuation // J. Intelligent Material Systemsand Structures. 2004. V. 15. P. 941-953.
13. Manning W. J., Plummer A. R., Levesley M. C. Vibration control of a flexible beam with integrated actuators and sensors. Smart Materials Structures. 2000. V. 9. P. 932-939.
14. Mahmood S. O. R., Moheimani K. Liu. Tracking Control of a Nanopositioner Using Complementary Sensor // IEEE Transactions on Nanotechnology. 2009. V. 8. No. 1. P. 86.
15. Arnfinn A. E., Gravdahl J. T., Pettersen K. Y. Adaptivefeed-forward hysteresis compensation for piezoelectric actuators // Rev. Sci. Instrum. 2012. V. 83. P. 085001.
16. Kawamata A., Kadota Y., Hosaka H., Morita T. Self-Sensing Piezoelectric Actuator using Permittivity Detection // Ferroelectrics. 2008. V. 368. P. 194-201.
17. Бардин В. А., Васильев В. А., Громков Н. В. Частотные интегрирующие развёртывающие преобразователи и их применение для датчиков и актюаторов // Надёжность и качество: тр. Междунар. симп. Пенза. 2015. Т. 2. С. 8-11.
Рецензия
Для цитирования:
Бардин В.А., Васильев В.А. Совмещение функций измерения и управления в структуре многослойного пьезоэлектрического актюатора нано- и микроперемещений. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2017;(7):44-48.
Просмотров:
75
Послать статью по эл. почте 