Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Прецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрии
Abstract
The possibility of using the digital photoelectric interferometer in nanometry to measure the small displacements is considered. In particular the analysis of use of interferometer with a high interpolation index for digital record of displacements in nanometer range due to its high accuracy, reliability and functionality - has been carried out.
About the Authors
В. Янушкин
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
Ю. Коляда
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Новиков Ю. А., Тодуа П. А. Нанотехнология и нанометрология // Наноиндустрия, 2007, № 1. С.20-22.
2. Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Ю. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М: Машиностроение, 1974.
3. Коляда Ю. Б. и др. Перспективы применения экстремальной счетно-интерполяционной системы в устройствах точного измерения линейных и угловых перемещений // Измерительная техника. 2002. № 6. C. 15-18; Kolyada Yu. B. Prospects for Using a Digital Extremal Counting Interpolation System in Devices for Accurately Measuring Linear and Angular Displacements // Measurement Techniques. 2002. V. 45. N. 6. P. 589-592.
4. А. с. 261484 СССР. Фотоэлектрическое устройство для измерения перемещений двух частей механизма / А. В. Мироненко, А. В. Балашов, Ю. Б. Коляда // Бюл. изобрет. 1970. № 5.
5. Коляда Ю. Б., Янушкин В. Н. Исследования и разработка способов коррекции погрешностей преобразователей с совмещенными функциями // Измерительная техника. 2001. № 3. С. 29-33; Kolyada Yu. B., Yanushkin V. N. Investigation and Development of Methods of Correcting the Errors of Converters with Joint Functions // Measurement Techniques. 2001. V. 44. N. 3. P. 265-269.
6. А. с. 1422002 СССР. Устройство для измерения перемещений / А. В. Мироненко, Г. П. Дмитриев, Ю. Б. Коляда, В. Н. Янушкин // Бюл. изобрет. 1988. № 33.
7. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б. Комплексное решение проблемы повышения точности измерения // Измерительная техника. 2014. № 3. С. 20-23.
8. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Приоритетное направление развития прецизионной техники измерения // Метрология. 2014. № 3. С. 20-24.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2014;(8):16-18. (In Russ.)
Views:
97
Email this article 