izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-215Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯLINEAR AND ANGULAR MEASUREMENTSПрецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрииЯнушкинВ. Н.noemail@neicon.ruКолядаЮ. Б.yura_kolyada@mail.ruМосковский государственный технический университет им. Н. Э. БауманаRussian Federation201407022023081618Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/215

Рассмотрена возможность использования в нанометрии разработанного цифрового фотоэлектрического интерферометра для измерений малых перемещений. Проанализирован частный случай использования интерферометра, имеющего достаточные показатели по точности, надежности, функциональности и высокий индекс интерполяции для цифровой фиксации перемещений в нанометровом диапазоне.

The possibility of using the digital photoelectric interferometer in nanometry to measure the small displacements is considered. In particular the analysis of use of interferometer with a high interpolation index for digital record of displacements in nanometer range due to its high accuracy, reliability and functionality - has been carried out.

цифровой фотоэлектрический интерферометрнанометрияиндекс интерполяцииuse of digital photoelectric interferometer in nanometryinterpolation indexaccuracyreliabilityfunctionality and ease of operationReferencesНовиков Ю. А., Тодуа П. А. Нанотехнология и нанометрология // Наноиндустрия, 2007, № 1. С.20-22.Новиков Ю. А., Тодуа П. А. Нанотехнология и нанометрология // Наноиндустрия, 2007, № 1. С.20-22.Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Ю. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М: Машиностроение, 1974.Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Ю. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М: Машиностроение, 1974.Коляда Ю. Б. и др. Перспективы применения экстремальной счетно-интерполяционной системы в устройствах точного измерения линейных и угловых перемещений // Измерительная техника. 2002. № 6. C. 15-18; Kolyada Yu. B. Prospects for Using a Digital Extremal Counting Interpolation System in Devices for Accurately Measuring Linear and Angular Displacements // Measurement Techniques. 2002. V. 45. N. 6. P. 589-592.Коляда Ю. Б. и др. Перспективы применения экстремальной счетно-интерполяционной системы в устройствах точного измерения линейных и угловых перемещений // Измерительная техника. 2002. № 6. C. 15-18; Kolyada Yu. B. Prospects for Using a Digital Extremal Counting Interpolation System in Devices for Accurately Measuring Linear and Angular Displacements // Measurement Techniques. 2002. V. 45. N. 6. P. 589-592.А. с. 261484 СССР. Фотоэлектрическое устройство для измерения перемещений двух частей механизма / А. В. Мироненко, А. В. Балашов, Ю. Б. Коляда // Бюл. изобрет. 1970. № 5.А. с. 261484 СССР. Фотоэлектрическое устройство для измерения перемещений двух частей механизма / А. В. Мироненко, А. В. Балашов, Ю. Б. Коляда // Бюл. изобрет. 1970. № 5.Коляда Ю. Б., Янушкин В. Н. Исследования и разработка способов коррекции погрешностей преобразователей с совмещенными функциями // Измерительная техника. 2001. № 3. С. 29-33; Kolyada Yu. B., Yanushkin V. N. Investigation and Development of Methods of Correcting the Errors of Converters with Joint Functions // Measurement Techniques. 2001. V. 44. N. 3. P. 265-269.Коляда Ю. Б., Янушкин В. Н. Исследования и разработка способов коррекции погрешностей преобразователей с совмещенными функциями // Измерительная техника. 2001. № 3. С. 29-33; Kolyada Yu. B., Yanushkin V. N. Investigation and Development of Methods of Correcting the Errors of Converters with Joint Functions // Measurement Techniques. 2001. V. 44. N. 3. P. 265-269.А. с. 1422002 СССР. Устройство для измерения перемещений / А. В. Мироненко, Г. П. Дмитриев, Ю. Б. Коляда, В. Н. Янушкин // Бюл. изобрет. 1988. № 33.А. с. 1422002 СССР. Устройство для измерения перемещений / А. В. Мироненко, Г. П. Дмитриев, Ю. Б. Коляда, В. Н. Янушкин // Бюл. изобрет. 1988. № 33.Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б. Комплексное решение проблемы повышения точности измерения // Измерительная техника. 2014. № 3. С. 20-23.Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б. Комплексное решение проблемы повышения точности измерения // Измерительная техника. 2014. № 3. С. 20-23.Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Приоритетное направление развития прецизионной техники измерения // Метрология. 2014. № 3. С. 20-24.Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Приоритетное направление развития прецизионной техники измерения // Метрология. 2014. № 3. С. 20-24.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.