сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Прецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрии
Аннотация
Рассмотрена возможность использования в нанометрии разработанного цифрового фотоэлектрического интерферометра для измерений малых перемещений. Проанализирован частный случай использования интерферометра, имеющего достаточные показатели по точности, надежности, функциональности и высокий индекс интерполяции для цифровой фиксации перемещений в нанометровом диапазоне.
Об авторах
В. Н. Янушкин
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Ю. Б. Коляда
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Россия
Россия
Список литературы
1. Новиков Ю. А., Тодуа П. А. Нанотехнология и нанометрология // Наноиндустрия, 2007, № 1. С.20-22.
2. Преснухин Л. Н., Шаньгин В. Ф., Шаталов Ю. А. Фотоэлектрические преобразователи информации. М: Машиностроение, 1974.
3. Коляда Ю. Б. и др. Перспективы применения экстремальной счетно-интерполяционной системы в устройствах точного измерения линейных и угловых перемещений // Измерительная техника. 2002. № 6. C. 15-18; Kolyada Yu. B. Prospects for Using a Digital Extremal Counting Interpolation System in Devices for Accurately Measuring Linear and Angular Displacements // Measurement Techniques. 2002. V. 45. N. 6. P. 589-592.
4. А. с. 261484 СССР. Фотоэлектрическое устройство для измерения перемещений двух частей механизма / А. В. Мироненко, А. В. Балашов, Ю. Б. Коляда // Бюл. изобрет. 1970. № 5.
5. Коляда Ю. Б., Янушкин В. Н. Исследования и разработка способов коррекции погрешностей преобразователей с совмещенными функциями // Измерительная техника. 2001. № 3. С. 29-33; Kolyada Yu. B., Yanushkin V. N. Investigation and Development of Methods of Correcting the Errors of Converters with Joint Functions // Measurement Techniques. 2001. V. 44. N. 3. P. 265-269.
6. А. с. 1422002 СССР. Устройство для измерения перемещений / А. В. Мироненко, Г. П. Дмитриев, Ю. Б. Коляда, В. Н. Янушкин // Бюл. изобрет. 1988. № 33.
7. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б. Комплексное решение проблемы повышения точности измерения // Измерительная техника. 2014. № 3. С. 20-23.
8. Янушкин В. Н., Коляда Ю. Б., Крушняк Н. Т. Приоритетное направление развития прецизионной техники измерения // Метрология. 2014. № 3. С. 20-24.
Рецензия
Для цитирования:
Янушкин В.Н., Коляда Ю.Б. Прецизионные фотоэлектрические преобразователи перемещения в нанометрии. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2014;(8):16-18.
Просмотров:
93
Послать статью по эл. почте 