Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий
Abstract
A high-precision broadband monitoring system of multilayer dielectric coatings deposition has been created. An example of monitoring system application for manufacturing of antireflective coating with maximum reflectance 0.15 % in the spectral range 400–660 nm on vacuum unit VU-2M is presented.
About the Authors
В. Лабусов
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Russian Federation
Russian Federation
З. Семенов
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Russian Federation
Russian Federation
И. Зарубин
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Russian Federation
Russian Federation
М. Саушкин
Институт автоматики и электрометрии СO РАН
Russian Federation
Russian Federation
Г. Эрг
Институт лазерной физики СО РАН
Russian Federation
Russian Federation
С. Ковалев
Институт лазерной физики СО РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Badoil B. e.a. Manufacturing of an absorbing filter controlled by a broadband optical monitoring // OSA. Opt. Express. 2008. V. 16. N 16. P. 12008–12017
2. Wilbrandt S. e. a. In-situ broadband monitoring and characterization of optical coatings // Opt. Soc. Amer. 2004.
3. Лабусов В.А. и др. Многоканальный спектрометр «Колибри-2» и его использование для одновременного определения щелочных и щелочноземельных металлов методом пламенной фотометрии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. Спец. выпуск. 2007. Т. 73. N S. С. 35–39
4. Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K. Computational manufacturing as a bridge between design and production // OSA, Appl. Opt. 2005. V. 44. N 32. P. 6877–6884
5. Программный пакет “OptiLayer thin film software” [электрон. ресурс] http://www.optilayer.com дата обращения: 23.05.2013 г.
6. Schulz U. Wideband antireflection coatings by combining interference multilayers with structured top layers // Opt. Express. 2009. V. 17. N 11. P. 8704–8708.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2013;(12):11-14. (In Russ.)
Views:
71
Email this article 