izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-197Research ArticleНАНОМЕТРОЛОГТЯСистема спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытийЛабусовВ. А.labusov@vmk.ruСеменовЗ. В.noemail@neicon.ruЗарубинИ. А.noemail@neicon.ruСаушкинМ. С.noemail@neicon.ruЭргГ. В.noemail@neicon.ruКовалевС. И.noemail@neicon.ruИнститут автоматики и электрометрии СO РАНRussian FederationИнститут лазерной физики СО РАНRussian Federation2013070220230121114Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/197

Создана система прецизионного спектрального контроля толщин слоев многослойных диэлектрических покрытий в широком спектральном диапазоне. Приведен пример использования системы для изготовления просветляющего покрытия с максимальным коэффициентом отражения 0,15 % в спектральном диапазоне 400–660 нм на вакуумной установке ВУ-2М.

A high-precision broadband monitoring system of multilayer dielectric coatings deposition has been created. An example of monitoring system application for manufacturing of antireflective coating with maximum reflectance 0.15 % in the spectral range 400–660 nm on vacuum unit VU-2M is presented.

многослойные диэлектрические покрытияконтроль напыленияспектрофотометриятонкие пленкиmultilayer dielectric coatingssputtering controlspectrophotometrythin filmsReferencesBadoil B. e.a. Manufacturing of an absorbing filter controlled by a broadband optical monitoring // OSA. Opt. Express. 2008. V. 16. N 16. P. 12008–12017Badoil B. e.a. Manufacturing of an absorbing filter controlled by a broadband optical monitoring // OSA. Opt. Express. 2008. V. 16. N 16. P. 12008–12017Wilbrandt S. e. a. In-situ broadband monitoring and characterization of optical coatings // Opt. Soc. Amer. 2004.Wilbrandt S. e. a. In-situ broadband monitoring and characterization of optical coatings // Opt. Soc. Amer. 2004.Лабусов В.А. и др. Многоканальный спектрометр «Колибри-2» и его использование для одновременного определения щелочных и щелочноземельных металлов методом пламенной фотометрии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. Спец. выпуск. 2007. Т. 73. N S. С. 35–39Лабусов В.А. и др. Многоканальный спектрометр «Колибри-2» и его использование для одновременного определения щелочных и щелочноземельных металлов методом пламенной фотометрии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. Спец. выпуск. 2007. Т. 73. N S. С. 35–39Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K. Computational manufacturing as a bridge between design and production // OSA, Appl. Opt. 2005. V. 44. N 32. P. 6877–6884Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K. Computational manufacturing as a bridge between design and production // OSA, Appl. Opt. 2005. V. 44. N 32. P. 6877–6884Программный пакет “OptiLayer thin film software” [электрон. ресурс] http://www.optilayer.com дата обращения: 23.05.2013 г.Программный пакет “OptiLayer thin film software” [электрон. ресурс] http://www.optilayer.com дата обращения: 23.05.2013 г.Schulz U. Wideband antireflection coatings by combining interference multilayers with structured top layers // Opt. Express. 2009. V. 17. N 11. P. 8704–8708.Schulz U. Wideband antireflection coatings by combining interference multilayers with structured top layers // Opt. Express. 2009. V. 17. N 11. P. 8704–8708.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.