|сгенерировать QR код
Открытый доступ
Только для подписчиков
Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017
https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2020-8-3-7
Аннотация
Описаны состав, принцип работы и основные метрологические характеристики Государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017, обеспечивающего измерение двумерного пространственного распределения эллипсометрических углов. В состав ГЭТ 186-2017 включены спектральный эллипсометр, оснащённый двухкоординатным столом для измерений на сетке 10×10 точек, и интерференционный профилометр, с помощью которого измеряется двумерная карта отклонений от 90° нормалей к поверхности объекта. В точках сканирования, где отклонение нормали превышает 0,01°, измерения не производятся. Измерение двумерного пространственного распределения эллипсометрических углов позволяет восстанавливать пространственные распределения толщины и комплексного показателя преломления покрытий по площади исследуемого изделия. ГЭТ 186-2017 обеспечивает единство измерений в приоритетных направлениях науки и техники, таких как микроэлектроника, оптика, приборостроение. Основными потребителями ГЭТ 186-2017 являются организации, занимающиеся разработкой новых изделий микроэлектроники, солнечных батарей, оптики, в частности лазерных гироскопов. В состав таких изделий входят нанесённые на подложки упорядоченные многослойные структуры, толщину которых контролируют с помощью различных типов эллипсометров, в том числе эллипсометров изображений.
Об авторах
Г. Н. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Москва
Г. Г. Левин
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Москва
В. Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений
Россия
Россия
Москва
Список литературы
1. . Ohlídal I., Vohánka J., Buršíková V., Franta D., and Čermák M., Opt. Express, 2020, vol. 28, no. 1, pp. 160–174. https://doi.org/10.1364/OE.28.000160
2. Nazarov A., Ney M, and Abdulhalim I., Opt. Express, 2020, vol. 28, no. 7, pp. 9288–9309. https://doi.org/10.1364/OE.28.009288
3. Dembele V., Jin M., Choi I., Chegal W., and Kim D., Opt. Express, 2018, vol. 26, no 2, pp. 1333–1341. https://doi.org/10.1364/OE.26.001333
4. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. Пер. с англ. М.: Мир, 1981. 584 с.
5. Ржанов А. В., Свиташев К. К., Семененко А. И., СемененкоЛ. В., Соколов В. К. Основы эллипсометрии. Н.: Наука, 1978. 424 с.
6. Nestler P., Helm C. A., Opt. Express, 2017, vol. 25, no. 22, pp. 27077–27085. https://doi.org/10.1364/OE.25.027077
7. Yun Y. H., Joo K.-N., Opt. Express, 2018, vol. 26, no. 26, pp. 34396–34411. https://doi.org/10.1364/OE.26.034396
8. Asinovski L., Beaglehole D., Clarkson M. T., Physica status solidi (a), 2008, vol. 205, no. 4, pp. 764–771. https://doi.org/10.1002/pssa.200777855
9. Li G., Gu L., Hu J., Zhu L., Zeng A., and Huang H., Chin. Opt. Lett., 2019, vol. 17, no. 1, pp. 011201.
10. Jin L., Iizuka Y., Iwao T., Kondoh E., Uehara M., and Gelloz B., Appl. Opt., 2019, vol. 58, no. 33, pp. 9224–9229. https://doi.org/10.1364/AO.58.009224
11. Shan Y., Hu G., Gu L., He H., Zeng A., Zhao Y., and Sytchkova A., Appl. Opt., 2017, vol. 56, no. 28, pp. 7898–7904. https://doi.org/10.1364/AO.56.007898
12. Вишняков Г. Н., Левин Г. Г., Минаев В. Л., Цельмина И. Ю. Интерферометр фазового сдвига для контроля плоских и сферических оптических деталей // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 5. C. 76–82.
13. Vishnyakov G., Levin G., Minaev V., Nekrasov N., Appl. Opt., 2015, vol. 54, no 15, pp. 4797–4804. https://doi.org/10.1364/AO.54.004797
Рецензия
Для цитирования:
Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Минаев В.Л. Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2020;(8):3-7. https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2020-8-3-7
For citation:
Vishnyakov G.N., Levin G.G., Minaev V.L. State primary standard of ellipsometric angles GET 186-2017. Izmeritel`naya Tekhnika. 2020;(8):3-7. (In Russ.) https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2020-8-3-7
Просмотров:
126
Послать статью по эл. почте 