Волоконно-оптическая спектроскопия для контроля процессов электрооксидирования металлов
Abstract
The method for study of phase-heterogeneous metal-oxide surface layers by means of fiber optics spectrometers is presented. The metal reflection coefficients for different wavelenghts are processed by modified to reflectometry optical spectrotomography algorithms. This modification allows to control the thickness and chemical composition of heterogeneous surface layers. An example of calculation of parameters of oxide films on the surface of Fe–18Cr processed at furnace and electrocontact heating is given.
About the Authors
В. Котенев
Институт физической химии и электрохимии им. А. Н .Фрумкина РАН
Russian Federation
Russian Federation
А. Цивадзе
Институт физической химии и электрохимии им. А. Н .Фрумкина РАН
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Herman I. Optical diagnostics for thin film processing. N. Y. Acad. Press, 1996.
2. Гагина И. А. и др. Фурье-ИК-спектроскопия в длительном коррозионном мониторинге взаимодействия коммерческого листового алюминия с четыреххлористым углеродом при комнатной температуре // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2012. Т. 48. № 5. С. 495 – 500.
3. Петрунин М. А. и др. Направленное формирование и защитное действие самоорганизующихся винилсилоксановых нанослоев на поверхности меди // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2012. Т. 48. № 6. С. 554–563.
4. Optical Sensors and Microsystems. New Concepts, Materials, Technologies / Eds. S.Martellucci, A.N.Chester, A.G.Mignani / N. Y.: Plenum Publ., 2000.
5. Kotenev V. A. Optical and laser methods in investigations of corrosion problems. Helsinki University of Technology. Finland, 1994. P. 1–26.
6. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981.
7. Kotenev V. A. Ellipsometric tomography // Proc. SPIE. 1992. V. 1843. P. 259.
8. Тихонов А. Н., Арсенин В. Я. Методы решения некорректных задач. Л.: Наука, 1986.
9. Верлань А. Ф., Сизиков В. С. Интегральные уравнения. Киев: Наукова Думка, 1986.
10. Мровец С., Вербер Т. Современные жаростойкие материалы: Справочник. М.: Металлургия, 1986.
11. Котенев В. А., Цивадзе А. Ю. Зондовая спектроскопия комбинационного рассеяния в контроле электродеградации тонкопленочных проводников // Измерительная техника. 2011. № 12. С. 54–58; Kotenev V. A., Tsivadze A. Yu. Probe raman spectroscopy in monitoring the electrical degradation of thin-film conductors // Measurement Techniques. 2011. V. 54. N. 12. P. 1421–1426.
12. Tanaka T. Optical constants of polycrystalline 3d transition metal oxides in the wavelength region 350to1200 nm. // Jap. J. Appl. Phys. 1979. V. 18. N. 6. P. 1043–1047.
13. Idczak E., Oleszkiewicz E. Ellipsometric examination of the thermal oxidation process for plated chromium films // Thin Solid Films. 1981. V. 77. N.4. P. 301–303.
14. Котенев В. А. О низкотемпературной пассивности железа при газовом окислении // Защита металлов. 2003. Т. 39. № 4. С. 341–351.
15. Котенев В. А. и др. Об электроконтактном оксидировании вакуумных наноконденсатов железа // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2011. Т. 47. № 6. С. 659–667.
16. Котенев В. А. и др. Влияние контактного нагрева постоянным током на процесс изотермического газового оксидирования хромистых сталей //Физика и химия обработки материалов. 1999. № 4. С. 45–52.
Review
For citations:
, . Izmeritel`naya Tekhnika. 2013;(10):29-32. (In Russ.)
Views:
49
Email this article 