Для цитирования:

Бусурин В.И., Казарьян А.В., Штек С.Г., Жеглов М.А., Васецкий С.О., Чжи П.Л. Рамочный микрооптоэлектромеханический преобразователь угловой скорости с узлами оптического считывания на основе оптического туннельного эффекта. Измерительная техника. 2022;(5):50-55. https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2022-5-50-55

For citation:

Busurin V.I., Kazaryan A.V., Shtek S.G., Zheglov M.A., Vasetskiy S.O., Ky P.L. Frame micro-optoelectromechanical angular velocity transducer with optical readout units based on the optical tunneling effect. Izmeritel`naya Tekhnika. 2022;(5):50-55. (In Russ.) https://doi.org/10.32446/0368-1025it.2022-5-50-55