Измерениерадиуса кривизны и децентровки подложек лазерных зеркал на компьютерноминтерференционном профилометре
Аннотация
Рассмотрена методика измерения радиуса кривизны и децентровки подложек лазерных зеркал cиспользованием компьютерногоинтерференционного профилометраПИК-30.
Об авторах
Г. Н. Вишняков
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва
Россия
Россия
И. Ю. Цельмина
Раменский приборостроительный завод, Раменское
Россия
Россия
Список литературы
1. Оптический производственный контроль/ Под ред. Д. Малакары. М.: Машиностроение, 1985.
2. Кривовяз Л. М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М.: Машиностроение, 1974.
3. Creath K.Phase measurement interferometry techniques // Progress Opt. 1988.V. 26.P.349–393.
4. ГОСТ 1121–75. Пластины плоскопараллельные стеклянные. Наборы. Технические условия.
5. Р 50.2.038–2004. ГСИ. Измерения прямые однократные. Оценивание погрешностей и неопределенности результата измерений.
6. ГОСТ 8.207–76. ГСИ. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
Рецензия
Для цитирования:
Вишняков Г.Н., Цельмина И.Ю. Измерениерадиуса кривизны и децентровки подложек лазерных зеркал на компьютерноминтерференционном профилометре. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2012;(8):37- 39.
Просмотров:
58
Послать статью по эл. почте 