Preview

Измерительная техника

Расширенный поиск

Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе

Об авторах

А. Н. Амрастанов
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Россия


А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия


В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


Е. В. Серегина
Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана
Россия


М. А. Степович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Россия


П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия


Список литературы

1. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics c image formation and microanalysis. Berlin, N.Y.: Heidelberg Springer, 1998.

2. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. У., Купреенко С. Ю. Анализ формул для расчёта основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.

3. Боровский И. Б., Водоватов Ф. Ф., Жуков А. А., Черепин В. Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия,1973.

4. Кузин А. Ю., Степович М. А., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

5. Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

6. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном анализе / Известия РАН. Серия физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 163-164.

7. Бакалейников Л. А., Галактионов Е. В., Третьяков В. В., Троп Э. А. Расчёт теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия // Физика твёрдого тела. 2001. Т. 43. № 5. С. 779-785.

8. Масловская А. Г. Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии // Информатика и системы управления. 2007. № 2. С. 40-51.

9. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: МГУ, 1999.

10. Mikheev N. N., Stepovich M. А. Distribution of energy losses in interaction of an electron probe with material // Industrial Laboratory. 1996. V. 62. No. 4. P. 221-226.

11. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев Н. Н., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Широкова Е. В. Учёт матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального анализа // Измерительная техника. 2013. №7. С. 58-61.

12. Физические величины: Справочник // Ред. Григорьева И. С., Мейлихова Е. З. М.: Энергоатомиздат, 1991.


Рецензия

Для цитирования:


Амрастанов А.Н., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Серегина Е.В., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе. Измерительная техника. 2017;(6):13-15.

Просмотров: 253

JATS XML

ISSN 0368-1025 (Print)
ISSN 2949-5237 (Online)