Preview

Измерительная техника

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе

Об авторах

А. Н. Амрастанов
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Россия


А. Ю. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Россия


В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


Е. В. Серегина
Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана
Россия


М. А. Степович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Россия


П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


М. Н. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия


Список литературы

1. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics c image formation and microanalysis. Berlin, N.Y.: Heidelberg Springer, 1998.

2. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. У., Купреенко С. Ю. Анализ формул для расчёта основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.

3. Боровский И. Б., Водоватов Ф. Ф., Жуков А. А., Черепин В. Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия,1973.

4. Кузин А. Ю., Степович М. А., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

5. Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

6. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном анализе / Известия РАН. Серия физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 163-164.

7. Бакалейников Л. А., Галактионов Е. В., Третьяков В. В., Троп Э. А. Расчёт теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия // Физика твёрдого тела. 2001. Т. 43. № 5. С. 779-785.

8. Масловская А. Г. Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии // Информатика и системы управления. 2007. № 2. С. 40-51.

9. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: МГУ, 1999.

10. Mikheev N. N., Stepovich M. А. Distribution of energy losses in interaction of an electron probe with material // Industrial Laboratory. 1996. V. 62. No. 4. P. 221-226.

11. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев Н. Н., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Широкова Е. В. Учёт матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального анализа // Измерительная техника. 2013. №7. С. 58-61.

12. Физические величины: Справочник // Ред. Григорьева И. С., Мейлихова Е. З. М.: Энергоатомиздат, 1991.


Рецензия

Для цитирования:


Амрастанов А.Н., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Серегина Е.В., Степович М.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе. Izmeritelʹnaya Tekhnika. 2017;(6):13-15.

Просмотров: 90


ISSN 0368-1025 (Print)
ISSN 2949-5237 (Online)