

Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе
About the Authors
А. АмрастановRussian Federation
А. Кузин
Russian Federation
В. Митюхляев
Russian Federation
Е. Серегина
Russian Federation
М. Степович
Russian Federation
П. Тодуа
Russian Federation
М. Филиппов
Russian Federation
References
1. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics c image formation and microanalysis. Berlin, N.Y.: Heidelberg Springer, 1998.
2. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. У., Купреенко С. Ю. Анализ формул для расчёта основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.
3. Боровский И. Б., Водоватов Ф. Ф., Жуков А. А., Черепин В. Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия,1973.
4. Кузин А. Ю., Степович М. А., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.
5. Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.
6. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном анализе / Известия РАН. Серия физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 163-164.
7. Бакалейников Л. А., Галактионов Е. В., Третьяков В. В., Троп Э. А. Расчёт теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия // Физика твёрдого тела. 2001. Т. 43. № 5. С. 779-785.
8. Масловская А. Г. Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии // Информатика и системы управления. 2007. № 2. С. 40-51.
9. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: МГУ, 1999.
10. Mikheev N. N., Stepovich M. А. Distribution of energy losses in interaction of an electron probe with material // Industrial Laboratory. 1996. V. 62. No. 4. P. 221-226.
11. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев Н. Н., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Широкова Е. В. Учёт матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального анализа // Измерительная техника. 2013. №7. С. 58-61.
12. Физические величины: Справочник // Ред. Григорьева И. С., Мейлихова Е. З. М.: Энергоатомиздат, 1991.
Review
For citations:
, , , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(6):13-15. (In Russ.)