Preview

Izmeritel`naya Tekhnika

Advanced search
Open Access Open Access  Restricted Access Subscription Access

Тепловое воздействие электронного зонда при рентгеноспектральном наноанализе

About the Authors

А. Амрастанов
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Russian Federation


А. Кузин
Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы
Russian Federation


В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation


Е. Серегина
Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана
Russian Federation


М. Степович
Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского
Russian Federation


П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Russian Federation


М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Russian Federation


References

1. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics c image formation and microanalysis. Berlin, N.Y.: Heidelberg Springer, 1998.

2. Рау Э. И., Дицман С. А., Зайцев С. В., Лермонтов Н. В., Лукьянов А. У., Купреенко С. Ю. Анализ формул для расчёта основных характеристик отраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами // Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1050-1058.

3. Боровский И. Б., Водоватов Ф. Ф., Жуков А. А., Черепин В. Т. Локальные методы анализа материалов. М.: Металлургия,1973.

4. Кузин А. Ю., Степович М. А., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

5. Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Изменение химического состава анализируемого объекта при низковольтном электронно-зондовом рентгеноспектральном микроанализе // Измерительная техника. 2016. № 10. C. 27-29.

6. Филиппов М. Н. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном анализе / Известия РАН. Серия физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 163-164.

7. Бакалейников Л. А., Галактионов Е. В., Третьяков В. В., Троп Э. А. Расчёт теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия // Физика твёрдого тела. 2001. Т. 43. № 5. С. 779-785.

8. Масловская А. Г. Моделирование теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии // Информатика и системы управления. 2007. № 2. С. 40-51.

9. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: МГУ, 1999.

10. Mikheev N. N., Stepovich M. А. Distribution of energy losses in interaction of an electron probe with material // Industrial Laboratory. 1996. V. 62. No. 4. P. 221-226.

11. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев Н. Н., Степович М. А., Тодуа П. А., Филиппов М. Н., Широкова Е. В. Учёт матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального анализа // Измерительная техника. 2013. №7. С. 58-61.

12. Физические величины: Справочник // Ред. Григорьева И. С., Мейлихова Е. З. М.: Энергоатомиздат, 1991.


Review

For citations:


 ,  ,  ,  ,  ,  ,   . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(6):13-15. (In Russ.)

Views: 89


ISSN 0368-1025 (Print)
ISSN 2949-5237 (Online)