Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Разработка и создание направляющей линейного перемещения с нанометровым отклонением от линейности на субметровых масштабах базы измерений
Abstract
A method of creation of modern linear displacement guide rails with deviation from linearity less than 15 nm on a 220 mm base length is presented. The development of a sensitive induction sensor with a measuring base of 220 mm, a height range of 100 mm and height deviation error 15 nm allowed to create a metrological instrument of the surface geometry measurement.
About the Authors
В. Логинов
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Russian Federation
Russian Federation
В. Троян
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Russian Federation
Russian Federation
П. Борисюк
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Russian Federation
Russian Federation
Е. Чубунова
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Russian Federation
Russian Federation
А. Елкин
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Russian Federation
Russian Federation
Б. Логинов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Кононогов С. А. Метрология и фундаментальные физические константы. М.: СТАНДАРТИНФОРМ, 2008 г.
2. Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А., Борисюк П. В., Борман В. Д., Тронин В. Н. Методика контурографии нанометровой точности для диагностики многослойных наноструктур // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. № 5. С. 52-57.
3. Кузьменко В. И., Василенко В. А. К вопросу совершенствования конструкции и технологии изготовления направляющих элементов шлифовальных станков с целью повышения их эксплуатационной точности // Вестник национ. техн. ун-та "Харьковский политехнический институт". 2011. Т. 47. С. 145-153.
4. Tarng Y. S., Kao J. Y., Lin Y. S. Identification of and compensation for backlash on the contouring accuracy of CNC machining centres // The Int. J. of Advan. Manufact. Techn. 1997. V. 13. P. 77-85.
5. Eung-Suk L., Suk-Hwan S., Jin-WookShon. A comprehensive method for calibration of volumetric positioning accuracy of CNC-machines // The Intern. J. of Advan. Manuf. Techn. 1998. V. 14. P. 43-49.
6. Пат. № 2537363 РФ. Устройство прецизионного перемещения. Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А. // Изобретения. Полезные модели. № 1. 2015.
7. ГОСТ 520-2002. Подшипники качения. Общие технические условия.
8. Конторова Т. А. Трение твердых поверхностей // Успехи физических наук. 1937. Т. 18. Вып. 3. С. 346-391.
Review
For citations:
, , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2015;(5):21-24. (In Russ.)
Views:
75
Email this article 