izmertechИзмерительная техникаIzmeritel`naya Tekhnika0368-10252949-5237ФГУП "ВНИИФТРИ"izmertech-1365Research ArticleЛИНЕЙНЫЕ И УГЛОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯLINEAR AND ANGULAR MEASUREMENTSРазработка и создание направляющей линейного перемещения с нанометровым отклонением от линейности на субметровых масштабах базы измеренийЛогиновВ. Б.vitroyan@mephi.ruТроянВ. И.vitroyan@mephi.ruБорисюкП. В.noemail@neicon.ruЧубуноваЕ. В.noemail@neicon.ruЕлкинА. Г.noemail@neicon.ruЛогиновБ. А.bloginov@miet.ruНациональный исследовательский ядерный университет «МИФИ»Russian FederationНациональный исследовательский университет «МИЭТ»Russian Federation201507022023052124Copyright © ФГУП "ВНИИФТРИ", 20232023ФГУП "ВНИИФТРИ"ФГУП "ВНИИФТРИ"https://www.izmt.ru/jour/about/submissions#copyrightNoticehttps://www.izmt.ru/jour/article/view/1365

Представлен метод создания современных направляющих линейного перемещения и разработ ана конструкция средства измерений геометрии поверхности с базой 220 мм и диапазоном измерений по высоте 100 мм, отклонениями от линейности по высоте 15 нм. Предложены пути устранения вибраций, возникающих на границе раздела направляющая-каретка, а также модернизированная система регистрации профиля поверхности в сочетании с более чувствительным индукционным датчиком.

A method of creation of modern linear displacement guide rails with deviation from linearity less than 15 nm on a 220 mm base length is presented. The development of a sensitive induction sensor with a measuring base of 220 mm, a height range of 100 mm and height deviation error 15 nm allowed to create a metrological instrument of the surface geometry measurement.

направляющие линейного перемещенияаттестация шероховатости поверхностиконтурографlinear displacement guide railsurface roughness certificationcontour measuring instrumentReferencesКононогов С. А. Метрология и фундаментальные физические константы. М.: СТАНДАРТИНФОРМ, 2008 г.Кононогов С. А. Метрология и фундаментальные физические константы. М.: СТАНДАРТИНФОРМ, 2008 г.Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А., Борисюк П. В., Борман В. Д., Тронин В. Н. Методика контурографии нанометровой точности для диагностики многослойных наноструктур // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. № 5. С. 52-57.Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А., Борисюк П. В., Борман В. Д., Тронин В. Н. Методика контурографии нанометровой точности для диагностики многослойных наноструктур // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. № 5. С. 52-57.Кузьменко В. И., Василенко В. А. К вопросу совершенствования конструкции и технологии изготовления направляющих элементов шлифовальных станков с целью повышения их эксплуатационной точности // Вестник национ. техн. ун-та "Харьковский политехнический институт". 2011. Т. 47. С. 145-153.Кузьменко В. И., Василенко В. А. К вопросу совершенствования конструкции и технологии изготовления направляющих элементов шлифовальных станков с целью повышения их эксплуатационной точности // Вестник национ. техн. ун-та "Харьковский политехнический институт". 2011. Т. 47. С. 145-153.Tarng Y. S., Kao J. Y., Lin Y. S. Identification of and compensation for backlash on the contouring accuracy of CNC machining centres // The Int. J. of Advan. Manufact. Techn. 1997. V. 13. P. 77-85.Tarng Y. S., Kao J. Y., Lin Y. S. Identification of and compensation for backlash on the contouring accuracy of CNC machining centres // The Int. J. of Advan. Manufact. Techn. 1997. V. 13. P. 77-85.Eung-Suk L., Suk-Hwan S., Jin-WookShon. A comprehensive method for calibration of volumetric positioning accuracy of CNC-machines // The Intern. J. of Advan. Manuf. Techn. 1998. V. 14. P. 43-49.Eung-Suk L., Suk-Hwan S., Jin-WookShon. A comprehensive method for calibration of volumetric positioning accuracy of CNC-machines // The Intern. J. of Advan. Manuf. Techn. 1998. V. 14. P. 43-49.Пат. № 2537363 РФ. Устройство прецизионного перемещения. Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А. // Изобретения. Полезные модели. № 1. 2015.Пат. № 2537363 РФ. Устройство прецизионного перемещения. Логинов В. Б., Троян В. И., Елкин А. Г., Логинов Б. А. // Изобретения. Полезные модели. № 1. 2015.ГОСТ 520-2002. Подшипники качения. Общие технические условия.ГОСТ 520-2002. Подшипники качения. Общие технические условия.Конторова Т. А. Трение твердых поверхностей // Успехи физических наук. 1937. Т. 18. Вып. 3. С. 346-391.Конторова Т. А. Трение твердых поверхностей // Успехи физических наук. 1937. Т. 18. Вып. 3. С. 346-391.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.