|Generate QR code
Open Access
Subscription Access
Пьезоактюаторы и пьезодвигатели с нано- и микроразмерным разрешением для тестового и контрольного оборудования
Abstract
The status of development and production of test and control equipment with nano- and micro-size particles resolution was investigated. The results of the analysis of piezoactuators and piezo motors development of leading manufacturers are represented and made their classification. Considered the most characteristic structures of the piezoelectric motors whose features are represented by classification. Clarified the terms piezoactuator and piezo motor. It is shown that piezoelectric stepper motors to a considerable extent meet the requirements to the actuators of the test and control equipment.
About the Authors
В. Бардин
Пенза, Россия
Russian Federation
Russian Federation
В. Васильев
Пенза, Россия
Russian Federation
Russian Federation
П. Чернов
Пенза, Россия
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Бобцов А. А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. И. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. С.-Петербург: ИТМО, 2011.
2. Панич А. Е. Пьезокерамические актюаторы. Ростов-на-Дону: РГУ, 2008.
3. Афонин С. М. Особенности электромеханического преобразования энергии пьезодвигателями наноперемещений // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. М.: Научтехлитиздат, 2012.
4. Roel J., Merry E. Performance-driven control of nano-motion systems. Eindhoven University of Technology, 2009.
5. Mackeyville P. A. Piezoceramics Actuator: Principles and Applications. APC International, Ltd, 2011.
6. Амельченко А. Г., Бардин В. А., Васильев В. А. Системы управления и элементы усиливающего пьезоэлектрического актюатора для прецизионного позиционирования // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2015. № 3 (35). С. 106-119.
7. ГОСТ 14691-69. Устройства исполнительные для систем автоматического регулирования.
8. Амельченко А. Г., Бардин В. А., Васильев В. А., Немков А. Е., Чернов П. С. Прибор прецизионного позиционирования с нанометровым разрешением // Информационные материалы в науке и производстве (ИТНП-2013): Материалы Всерос. науч.-технич. конф. Cedrat technologies. [Электрон. ресурс]: htpp:// www.cedrat-technologies.com (дата обращения: 05.12.2015).
9. Physik instrumente. [Электрон. ресурс]: htpp: // www.physikinstrumente.com (дата обращения: 05.12.2015).
10. New scale technologies. [Электрон. ресурс]: http:// www.newscaletech.com (дата обращения: 05.12.2015).
11. Discovery technology international [Электрон. ресурс]: http: // www. discovtech.com (дата обращения: 05.12.2015).
Review
For citations:
, , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2017;(2):46-51. (In Russ.)
Views:
127
Email this article 