Исследовано состояние разработок и производства тестового и контрольного оборудования с нано- и микроразмерным разрешением. Представлены результаты анализа разработок составлена классификация пьезоактюаторов и пьезодвигателей ведущих производителей. Рассмотрены наиболее характерные структуры пьезоэлектрических двигателей. Показано, что шаговые пьезоэлектрические двигатели удовлетворяют требованиям, предъявляемым к исполнительным механизмам тестового и контрольного оборудования.
The status of development and production of test and control equipment with nano- and micro-size particles resolution was investigated. The results of the analysis of piezoactuators and piezo motors development of leading manufacturers are represented and made their classification. Considered the most characteristic structures of the piezoelectric motors whose features are represented by classification. Clarified the terms piezoactuator and piezo motor. It is shown that piezoelectric stepper motors to a considerable extent meet the requirements to the actuators of the test and control equipment.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.