Стандартный образец для калибровки просвечивающих электронных микроскопов
Abstract
The reference material of pitch structure parameters in a thin layer of monocrystal silicon is developed. This reference material #10030-2011 has been certified and is intended for transmission electron microscope calibration in the range of magnification values 1000-1500000´. The certification parameters are the pitch of the pitch structure and the (111) lattice spacing of monocrystal silicon in reference material. Both are independently traceable to the SI length unit – meter.
About the Authors
Д. Бодунов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Гавриленко
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Заблоцкий
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Московский физико-технический институт, Долгопрудный
Russian Federation
Russian Federation
А. Кузин
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
В. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
А. Раков
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
П. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума, Москва
Russian Federation
Russian Federation
М. Филиппов
Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова РАН, Москва
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Утевский Л.М. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении. М.:Металлургия, 1973.С.31.
2. Williams D., Carter C. Transmission electron microscopy. A textbook for materials science.N.Y.:Springer Science+Business Media, 2009.P.164.
3. НовиковЮ.А. идр.Линейнаямерамикрометровогоинанометровогодиапазоновдлярастровойэлектроннойиатомно-силовоймикроскопии// ТрудыИОФАН. 2006. Т. 62. С. 36–76.
4. NIST 2008 SRM 2000: calibration standard for high-resolution x-ray diffraction (Gaithersburg, MD: National Institute of Standards and Technology, USDepartment of Commerce) P. 1–11.
5. ГОСТ Р 8.631–2007. ГСИ. Микроскопы электронные измерительные. Методика поверки.
6. ГОСТ Р 8.629–2007. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
Review
For citations:
, , , , , , , , . Izmeritel`naya Tekhnika. 2012;(10):16- 18. (In Russ.)
Views:
121
Email this article 